您的位置： 专家智库 > >

何欢

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇淀积
  • 2篇荫罩
  • 2篇针尖
  • 2篇阵列式
  • 2篇锐化
  • 2篇扫描探针
  • 2篇声换能器
  • 2篇微悬臂梁
  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇换能器
  • 2篇AFM
  • 2篇超声
  • 2篇超声换能器
  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇探针
  • 1篇微纳加工
  • 1篇成像

机构

  • 4篇中国科学院

作者

  • 4篇杨富华
  • 4篇杨晋玲
  • 4篇何欢
  • 4篇张金英

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 2篇2015
共 4 条 记 录，以下是 1-4
全选 清除 导出
排序方式：
集成超声换能器的AFM探针阵列
一种集成超声换能器的AFM探针阵列，包括：一基座，该基座为矩形；多个微悬臂梁，其分别与基座的一侧边连接，每一微悬臂梁上制作有针尖；多个超声换能器，其分别制作在多个微悬臂梁的背面及或基座的背面；其中多个微悬臂梁和多个超声换...
何欢张金英杨晋玲杨富华
文献传递
一种扫描探针及其制作方法
本发明公开了一种高分辨率、高灵敏度、高可靠性的扫描探针制作方法。该方法采用微纳加工工艺实现，即在衬底上通过光刻、刻蚀制作针尖和悬臂梁，针尖利用低温氧化技术进行锐化，并且利用荫罩对针尖进行局部金刚石薄膜淀积。本发明将常规微...
杨晋玲何欢张金英杨富华
一种扫描探针及其制作方法
本发明公开了一种高分辨率、高灵敏度、高可靠性的扫描探针制作方法。该方法采用微纳加工工艺实现，即在衬底上通过光刻、刻蚀制作针尖和悬臂梁，针尖利用低温氧化技术进行锐化，并且利用荫罩对针尖进行局部金刚石薄膜淀积。本发明将常规微...
杨晋玲何欢张金英杨富华
文献传递
集成超声换能器的AFM探针阵列
一种集成超声换能器的AFM探针阵列，包括：一基座，该基座为矩形；多个微悬臂梁，其分别与基座的一侧边连接，每一微悬臂梁上制作有针尖；多个超声换能器，其分别制作在多个微悬臂梁的背面及或基座的背面；其中多个微悬臂梁和多个超声换...
何欢张金英杨晋玲杨富华
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0