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韩瑞峰
作品数:
4
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东南大学
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
雷双瑛
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机构
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东南大学
作者
4篇
韩瑞峰
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雷双瑛
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1篇
2016
3篇
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一种硅悬臂梁结构及其制备方法
本发明公开了一种硅悬臂梁结构,包括带悬臂梁的硅片基底,在所述悬臂梁上刻蚀有凹槽,所述凹槽两个侧壁上分别设有多个圆孔结构,且两个侧壁上的圆孔结构呈一一对称设置,每个所述圆孔结构上淀积有锡纳米催化剂层,且每对呈一一对称设置的...
雷双瑛
韩瑞峰
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一种硅悬臂梁结构及其制备方法
本发明公开了一种硅悬臂梁结构,包括带悬臂梁的硅片基底,在所述悬臂梁上刻蚀有凹槽,所述凹槽两个侧壁上分别设有多个圆孔结构,且两个侧壁上的圆孔结构呈一一对称设置,每个所述圆孔结构上淀积有锡纳米催化剂层,且每对呈一一对称设置的...
雷双瑛
韩瑞峰
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一种压力传感结构及其制备方法
本发明公开了一种压力传感结构,包括硅片基底和多晶硅梁结构,所述多晶硅梁结构呈n型架设在所述硅片基底上,所述多晶硅梁结构上表面并列设有两个压力感应结构,所述压力感应结构包括两个相对设置的氮化硅层和位于两个氮化硅层之间的多根...
雷双瑛
韩瑞峰
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新型硅、锗及硅锗异质结纳米线应变效应的第一性原理研究及应用设计
纳米尺寸的硅锗材料结构,其力学性质、电学性质和力电耦合性质均受到应变效应、界面效应、组分效应、量子限制效应等微观效应的影响。这些微观效应的影响让诸如纳米线、纳米管和纳米膜之类的硅锗纳米材料表现出了优秀的机电特性。本文立足...
韩瑞峰
关键词:
第一性原理
杨氏模量
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