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李娴

作品数：8 被引量：1H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇化学工程

主题

  • 4篇感器
  • 4篇背栅
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇电极
  • 3篇栅介质
  • 3篇石墨
  • 3篇石墨烯
  • 3篇衬底
  • 3篇传感器件
  • 2篇电栅
  • 2篇电子噪声
  • 2篇噪声
  • 2篇栅介质材料
  • 2篇柔性衬底
  • 2篇碳纳米管
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米管
  • 2篇介质
  • 2篇金属

机构

  • 8篇清华大学
  • 1篇河北半导体研...

作者

  • 8篇谢丹
  • 8篇李娴
  • 7篇徐建龙
  • 6篇朱宏伟
  • 4篇张丞
  • 4篇张小稳
  • 3篇李志鑫
  • 3篇杨埔
  • 2篇王靖
  • 2篇朱淼
  • 2篇向兰
  • 2篇蒋亚东
  • 1篇蔡树军
  • 1篇何泽召
  • 1篇蔚翠
  • 1篇刘庆彬
  • 1篇冯志红

传媒

  • 1篇化工学报

年份

  • 1篇2018
  • 3篇2017
  • 4篇2015
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
基于二维材料的杂化分级结构敏感薄膜传感器件制备方法
本发明公开了一种基于二维材料的杂化分级结构敏感薄膜传感器件制备方法，该传感器件包括：根据制备顺序依次层叠的单晶半导体衬底，绝缘层，叉指电极层，第一PDDA薄膜层，还原氧化石墨烯薄膜层，第二PDDA薄膜层，分级结构ZnO‑...
谢丹李娴徐建龙戴睿轩赵远帆王靖向兰朱淼朱宏伟蒋亚东
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一种碳纳米管柔性光敏器件及其制备方法
本发明涉及一种碳纳米管柔性光敏器件及其制备方法，属于柔性电子技术以及敏感电子学领域，该光敏单元器件包括依次层叠的柔性衬底、柔性支撑层、柔性缓冲层、柔性背栅电极层、柔性背栅介质层、图形化的柔性碳纳米管光敏薄膜沟道层、以及在...
谢丹戴睿轩徐建龙李娴孙翊淋张小稳张丞杨埔滕长久李志鑫朱宏伟
有机铁电栅石墨烯柔性存储器件及其制造方法
本发明涉及一种有机铁电栅石墨烯柔性存储器件及其制备方法，属于柔性电子技术领域，该存储器件包括依次层叠的柔性衬底、金属背栅电极层、金属氧化物背栅介质层、图形化的石墨烯导电沟道、在石墨烯导电沟道上的金属源电极和金属漏电极，旋...
谢丹孙翊淋徐建龙张丞张小稳李娴赵远帆朱宏伟
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一种碳纳米管柔性光敏器件及其制备方法
本发明涉及一种碳纳米管柔性光敏器件及其制备方法，属于柔性电子技术以及敏感电子学领域，该光敏单元器件包括依次层叠的柔性衬底、柔性支撑层、柔性缓冲层、柔性背栅电极层、柔性背栅介质层、图形化的柔性碳纳米管光敏薄膜沟道层、以及在...
谢丹戴睿轩徐建龙李娴孙翊淋张小稳张丞杨埔滕长久李志鑫朱宏伟
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基于二维材料的杂化分级结构敏感薄膜传感器件制备方法
本发明公开了一种基于二维材料的杂化分级结构敏感薄膜传感器件制备方法，该传感器件包括：根据制备顺序依次层叠的单晶半导体衬底，绝缘层，叉指电极层，第一PDDA薄膜层，还原氧化石墨烯薄膜层，第二PDDA薄膜层，分级结构ZnO-...
谢丹李娴徐建龙戴睿轩赵远帆王靖向兰朱淼朱宏伟蒋亚东
基于三维网络结构敏感薄膜的柔性气体传感器及制备方法
本发明公开了一种基于三维网络敏感薄膜的柔性气体传感器件及其制备方法，属于敏感电子学和柔性电子学领域。该传感器件包括：根据制备顺序依次层叠的柔性衬底层，叉指电极层和三维网络结构敏感薄膜层；制备方法主要包括柔性叉指电极器件制...
谢丹李娴戴睿轩徐建龙滕长久李志鑫杨埔
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有机铁电栅石墨烯柔性存储器件及其制造方法
本发明涉及一种有机铁电栅石墨烯柔性存储器件及其制备方法，属于柔性电子技术领域，该存储器件包括依次层叠的柔性衬底、金属背栅电极层、金属氧化物背栅介质层、图形化的石墨烯导电沟道、在石墨烯导电沟道上的金属源电极和金属漏电极，旋...
谢丹孙翊淋徐建龙张丞张小稳李娴赵远帆朱宏伟
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蓝宝石衬底上PECVD生长石墨烯及其气敏传感器被引量：1
2017年
在蓝宝石衬底上,利用PECVD在相对较低的温度和相对短的时间制备石墨烯。实验发现,在950℃,生长15 min,可制备纳米晶石墨烯。所制备的石墨烯为双层结构,存在较多的缺陷,使得其适合用于制作气敏传感器。制作的纳米晶石墨烯气敏传感器对甲醛气体显示出良好的响应和恢复特性。分析发现纳米晶石墨烯中大量的晶界和褶皱使气体的吸附和解吸附能垒降低是其表现出良好气敏特性的主要原因。
蔚翠何泽召刘庆彬李娴谢丹蔡树军冯志红
关键词：石墨烯甲醛曝气
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