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曾春阳

作品数：17 被引量：3H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 16篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 10篇探针
  • 10篇白光干涉
  • 6篇扫描显微镜
  • 6篇物镜
  • 6篇显微物镜
  • 4篇位姿
  • 4篇激光
  • 4篇激光干涉
  • 4篇俯仰
  • 4篇测量系统
  • 3篇标定方法
  • 2篇调节装置
  • 2篇调整装置
  • 2篇原子力显微镜
  • 2篇针尖
  • 2篇扫描测量
  • 2篇扫描测量系统
  • 2篇扫描探针
  • 2篇球心
  • 2篇主控

机构

  • 17篇华中科技大学

作者

  • 17篇曾春阳
  • 16篇杨文军
  • 16篇卢文龙
  • 16篇刘晓军
  • 8篇周莉萍
  • 6篇常素萍

年份

  • 4篇2018
  • 1篇2017
  • 7篇2016
  • 5篇2015
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种白光干涉原子力扫描探针的标定装置及其标定方法
本发明公开了一种基于接触测量的白光干涉原子力扫描探针标定系统及标定方法，该标定系统包括面CCD测量系统，原子力探针扫描显微镜组件，白光光源系统，纳米级垂直微位移平台、激光干涉位移计量系统以及数据处理系统，其中面CCD测量...
卢文龙庾能国刘晓军杨文军常素萍曾春阳
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一种可溯源白光干涉原子力探针自动定位工件方法
本发明公开了一种可溯源白光干涉原子力探针自动定位工件方法，该方法包括如下步骤：在纳米级位移平台运动之前记录下激光干涉位移计量系统的初始位移；接着其在垂直方向上快速产生一个适量的位移，在位移发生后通过零级条纹的移动量是否在...
卢文龙庾能国刘晓军杨文军曾春阳周莉萍
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一种面、线CCD组合的原子力探针扫描测量系统及测量方法
本发明公开了一种面、线CCD组合的白光干涉原子力探针扫描显微镜测量系统及其测量方法，该测量系统包括面、线CCD测量系统，原子力探针扫描显微镜组件，干涉光源系统，调整系统以及数据处理系统；干涉光源系统用于产生测试的白光光源...
卢文龙庾能国刘晓军杨文军常素萍曾春阳
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一种原子力探针位姿调节装置
本发明公开了一种原子力探针位姿调节装置,包括探针座，调节机构和连接头。其中探针座用于原子力探针的安装固定；调节机构包括由下至上的第一调节部件、第二调节部件、第三调节部件、第四调节部件以及第五调节部件，分别用于原子力探针的...
卢文龙杨文军刘晓军庾能国曾春阳
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一种白光干涉原子力探针系统的成像自动调整装置及其控制方法
本发明公开了一种基于白光干涉原子力探针扫描显微镜探针系统的成像自动调整装置自动及其控制方法，该装置主要包括计算机，夹持机构及铰链机构，原子力探针及其探针组件，白光干涉显微系统，面CCD光路连接筒。在白光干涉原子力探针显微...
卢文龙曾春阳刘晓军庾能国杨文军周莉萍常素萍
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触针轮廓仪传感器校准及误差补偿
随着先进制造技术的发展，特别是表面加工技术的不断提高，大量具有高精度表面的机械零件不断出现，对零件进行高精度、大范围轮廓测量的需求也越发迫切。触针式轮廓仪凭借测量范围大、稳定性高、对环境要求低等诸多优点在表面轮廓测量领域...
曾春阳
关键词：传感器误差补偿
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一种针尖磨损后的被测轮廓重建算法
本发明公开了一种针尖磨损后的被测轮廓的测量方法，其中上述方法主要包括如下步骤：获得第一标准球的针心轨迹，获得第二标准球的针心轨迹，给出第一标准球的球心坐标初始值，计算对应上述球心坐标下的针尖轮廓，由第二标准球的针心轨迹和...
卢文龙刘晓军曾春阳杨文军
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一种白光干涉原子力扫描探针的标定装置及其标定方法
本发明公开了一种基于接触测量的白光干涉原子力扫描探针标定系统及标定方法，该标定系统包括面CCD测量系统，原子力探针扫描显微镜组件，白光光源系统，纳米级垂直微位移平台、激光干涉位移计量系统以及数据处理系统，其中面CCD测量...
卢文龙庾能国刘晓军杨文军常素萍曾春阳
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一种可溯源白光干涉原子力探针自动定位工件方法
本发明公开了一种可溯源白光干涉原子力探针自动定位工件方法，该方法包括如下步骤：在纳米级位移平台运动之前记录下激光干涉位移计量系统的初始位移；接着其在垂直方向上快速产生一个适量的位移，在位移发生后通过零级条纹的移动量是否在...
卢文龙庾能国刘晓军杨文军曾春阳周莉萍
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一种面、线CCD组合的原子力探针扫描测量系统及测量方法
本发明公开了一种面、线CCD组合的白光干涉原子力探针扫描显微镜测量系统及其测量方法，该测量系统包括面、线CCD测量系统，原子力探针扫描显微镜组件，干涉光源系统，调整系统以及数据处理系统；干涉光源系统用于产生测试的白光光源...
卢文龙庾能国刘晓军杨文军常素萍曾春阳
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