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文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇导电性
  • 1篇电机
  • 1篇模版
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米发电机
  • 1篇居间
  • 1篇刻蚀
  • 1篇硅片
  • 1篇发电机

机构

  • 1篇中国乐凯集团...

作者

  • 1篇卢志凯
  • 1篇李建平
  • 1篇张俊
  • 1篇黄海水
  • 1篇王肖鹏
  • 1篇高学军
  • 1篇张静
  • 1篇冯秀荣
  • 1篇王洪泽

年份

  • 1篇2015
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
一种居间薄膜的制备方法、居间薄膜及其纳米发电机
本发明提供一种居间薄膜的制备方法、居间薄膜及其纳米发电机。本发明直接采用金属网格模板制备纳米发电机居间薄膜,避免了采用刻蚀硅片作为模板,所述带有金属网格的薄膜模板无需进行刻蚀,制备过程简单,进而简化了居间薄膜的制备工艺,...
卢志凯张静高学军王洪泽李建平黄海水王肖鹏冯秀荣张俊
文献传递
共1页<1>
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