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赵雪楠

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：厦门大学更多>>
相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇薄膜应力
  • 1篇应力测量
  • 1篇真空机组
  • 1篇真空室
  • 1篇数据采集
  • 1篇数据采集装置
  • 1篇数据传输
  • 1篇数据传输线
  • 1篇气口
  • 1篇微位移
  • 1篇位移传感器
  • 1篇牺牲层
  • 1篇进气
  • 1篇进气口
  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻蚀技术
  • 1篇控制机
  • 1篇激光位移传感...
  • 1篇激振
  • 1篇激振器

机构

  • 3篇厦门大学

作者

  • 3篇郑建毅
  • 3篇杨群峰
  • 3篇王俊清
  • 3篇赵雪楠
  • 2篇林俊辉

年份

  • 3篇2015
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种低压化学气相沉积装置
本实用新型涉及一种低压化学气相沉积装置，包括真空机组、沉积室、激振装置、反应室、反应气体通道和控制器，所述反应气体通道与反应室进气口连通，所述反应室排气口与真空室进气口连通，所述真空室排气口通过进气管与真空机组连通，所述...
郑建毅王俊清杨群峰林俊辉赵雪楠
文献传递
一种非接触式样品表面轮廓测试装置
本实用新型涉及非接触式测试技术领域，具体涉及一种非接触式样品表面轮廓测试装置。一种非接触式样品表面轮廓测试装置，激光位移传感器数据采集装置，三维精密平移台，X向精密平移台，Y向精密平移台，X向步进电机，Y向步进电机，平移...
郑建毅杨群峰魏大银赵雪楠王俊清
一种二级微位移放大结构
本实用新型涉及功能薄膜应力测量结构。本实用新型的一种二级微位移放大结构，包括：固定梁、旋转梁、指针梁、刻度尺、固定梁连接颈、旋转梁连接颈、指针梁连接颈和固定端。薄膜应力测量结构在薄膜上采用刻蚀技术制备，固定梁的一端连接在...
郑建毅王俊清杨群峰林俊辉赵雪楠
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