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王骆
作品数:
6
被引量:1
H指数:1
供职机构:
电子科技大学
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相关领域:
电气工程
电子电信
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合作作者
钟智勇
电子科技大学
白飞明
电子科技大学
张怀武
电子科技大学
孟德欢
电子科技大学
王艺程
电子科技大学
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6篇
电子科技大学
作者
6篇
王骆
5篇
张怀武
5篇
白飞明
5篇
钟智勇
2篇
孟德欢
1篇
王艺程
年份
1篇
2018
1篇
2017
2篇
2016
2篇
2015
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6
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一种集成螺线管型微电感绕组线圈的通孔刻蚀方法
一种集成螺线管型微电感绕组线圈的通孔刻蚀方法,属于集成电路工艺领域。本发明采用厚度大于绝缘介质层的厚光刻胶作为刻蚀掩膜,对绝缘介质层进行刻蚀,充分利用氧气等离子体对光刻胶的去除作用,在刻蚀过程中使光刻胶在厚度方向逐步形成...
白飞明
王骆
钟智勇
张怀武
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一种大面积均匀各向异性磁芯膜及其制备方法
本发明提供了一种大面积均匀各向异性磁芯膜及其制备方法,涉及高频电磁器件、磁传感器件中磁性薄膜的制备领域。所述磁芯膜包括交替溅射的多层薄膜,每一层薄膜为楔形结构,相邻两层薄膜形成的薄膜结构其厚度是均匀的。主要采用倾斜基片以...
白飞明
王艺程
王骆
钟智勇
张怀武
文献传递
适用于片上螺线管电感的闭合磁路磁芯膜及其制备方法
一种适用于片上螺线管电感的闭合磁路磁芯膜,包括两个各向同性矩形磁芯膜和两个各向异性矩形磁芯膜,所述各向同性矩形磁芯膜的长与闭合磁路磁芯膜短边的宽度相等,所述各向同性矩形磁芯膜的宽度b为70~420μm。本发明闭合磁路磁芯...
白飞明
孟德欢
王骆
张怀武
钟智勇
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超高频集成磁膜螺线管电感的设计与制备
超高频(UHF)集成微电感是广泛应用于压控振荡器(VCO)、低噪声放大器(LNA)、功率放大器(PA)等集成单元电路中的无源器件之一,其性能直接关系到单元电路的整体性能和成本。磁膜集成到微电感中可以有效地提高感值面密度和...
王骆
关键词:
射频磁控溅射
一种集成螺线管型微电感绕组线圈的通孔刻蚀方法
一种集成螺线管型微电感绕组线圈的通孔刻蚀方法,属于集成电路工艺领域。本发明采用厚度大于绝缘介质层的厚光刻胶作为刻蚀掩膜,对绝缘介质层进行刻蚀,充分利用氧气等离子体对光刻胶的去除作用,在刻蚀过程中使光刻胶在厚度方向逐步形成...
白飞明
王骆
钟智勇
张怀武
适用于片上螺线管电感的闭合磁路磁芯膜及其制备方法
一种适用于片上螺线管电感的闭合磁路磁芯膜,包括两个各向同性矩形磁芯膜和两个各向异性矩形磁芯膜,所述各向同性矩形磁芯膜的长与闭合磁路磁芯膜短边的宽度相等,所述各向同性矩形磁芯膜的宽度b为70~420μm。本发明闭合磁路磁芯...
白飞明
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