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李鲁新
作品数:
8
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供职机构:
清华大学
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相关领域:
电子电信
化学工程
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合作作者
胡小鹏
清华大学
薛其坤
清华大学
陈曦
清华大学
郑澄
清华大学
季帅华
清华大学
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机构
8篇
清华大学
作者
8篇
陈曦
8篇
薛其坤
8篇
胡小鹏
8篇
李鲁新
3篇
季帅华
3篇
郑澄
2篇
康志新
年份
1篇
2023
1篇
2019
4篇
2017
2篇
2015
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克努曾箱蒸发源装置
本实用新型涉及一种克努曾箱蒸发源装置,其包括:一加热装置,用以加热装载于坩埚内的源材料;及一电动挡板装置,用以控制蒸发源的开放与遮挡状态。本实用新型通过设置一加热装置可在坩埚处形成一均匀而稳定的温度分布,实现了蒸发源高精...
胡小鹏
薛其坤
陈曦
康志新
李鲁新
文献传递
微动装置、显微镜扫描头及显微镜装置
本技术方案提供的微动装置,通过压力施加装置与支撑底座来向所述第一移动台和所述第二移动台施加垂直于第一方向和第二方向的力,与具有第一夹角的所述两个第一压电陶瓷接触面,和具有第二夹角的所述两个第二压电陶瓷接触面配合工作,提高...
薛其坤
陈曦
胡小鹏
季帅华
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微动装置、显微镜扫描头及显微镜装置
本技术方案提供的微动装置,通过压力施加装置与支撑底座来向所述第一移动台和所述第二移动台施加垂直于第一方向和第二方向的力,与具有第一夹角的所述两个第一压电陶瓷接触面,和具有第二夹角的所述两个第二压电陶瓷接触面配合工作,提高...
薛其坤
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二维微动装置
本发明提供的二维微动装置,通过压力施加装置与支撑底座来向所述第一移动台和所述第二移动台施加垂直于第一方向和第二方向的力,与具有第一夹角的所述两个第一压电陶瓷接触面,和具有第二夹角的所述两个第二压电陶瓷接触面配合工作,提高...
李鲁新
胡小鹏
薛其坤
陈曦
二维微动装置
本实用新型提供的二维微动装置,通过压力施加装置与支撑底座来向所述第一移动台和所述第二移动台施加垂直于第一方向和第二方向的力,与具有第一夹角的所述两个第一压电陶瓷接触面,和具有第二夹角的所述两个第二压电陶瓷接触面配合工作,...
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微动装置、显微镜扫描头及显微镜装置
本技术方案提供的微动装置,通过压力施加装置与支撑底座来向所述第一移动台和所述第二移动台施加垂直于第一方向和第二方向的力,与具有第一夹角的所述两个第一压电陶瓷接触面,和具有第二夹角的所述两个第二压电陶瓷接触面配合工作,提高...
薛其坤
陈曦
胡小鹏
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二维微动装置
本发明提供的二维微动装置,通过压力施加装置与支撑底座来向所述第一移动台和所述第二移动台施加垂直于第一方向和第二方向的力,与具有第一夹角的所述两个第一压电陶瓷接触面,和具有第二夹角的所述两个第二压电陶瓷接触面配合工作,提高...
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克努曾箱蒸发源
本实用新型涉及一种克努曾箱蒸发源,其包括:一加热装置,用以加热装载于坩埚内的源材料;及一电动挡板装置,用以控制蒸发源的开放与遮挡状态。本实用新型通过设置一加热装置可在坩埚处形成一均匀而稳定的温度分布,实现了蒸发源高精度的...
胡小鹏
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