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用于细胞固定的微纳SiO_2基底研究被引量：1: 2016年; 细胞阵列芯片在细胞生物学研究、药物筛选等生物医疗领域有着广阔的应用前景。针对芯片上细胞固定时需要化学修饰的限制,提出了仅通过表面结构实现细胞固定的方案。基于MEMS技术,采用DRIE在硅片上得到超疏水的微纳结构,通过简单的高温氧化工艺实现超亲水性的Si O2结构表面;再通过控制BOE腐蚀时间得到不同形貌的基底表面。计算了基底表面上的循环肿瘤细胞的黏附效率,并在SEM下观察了细胞与基底的相互作用行为,探讨了粗糙表面影响细胞黏附的原因。实验结果表明:采用DRIE和高温氧化制备的微纳Si O2基底表面能极大促进细胞黏附,可应用于细胞阵列芯片设计中。; 梁盛林周晓峰车录锋; 关键词：微机电系统

基于MEMS工艺的细胞微阵列结构及其制备方法: 本发明涉及一种基于MEMS工艺的细胞微阵列结构及其制备方法，所述结构分为槽型结构、柱型结构。所述槽型结构主要通过一次DRIE干法刻蚀结合热氧化工艺实现；柱型结构主要通过两次DRIE干法刻蚀结合热氧化工艺实现，且其阵列单元...; 周晓峰梁盛林车录锋孟祥; 文献传递

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梁盛林