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吴亚军

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：山东工业大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电子束
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇电子束曝光机
  • 1篇曝光机
  • 1篇计算机

机构

  • 1篇山东工业大学

作者

  • 1篇王建琨
  • 1篇吴亚军

传媒

  • 1篇山东工业大学...

年份

  • 1篇1989
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
非高斯束多功能电子束曝光机的电子光柱体设计
1989年
讨论目前电子束曝光机的基本结构和复合聚焦偏转系统的基本原理,并根据这一原理对已有的复合系统如MOL,VAL,PFDS等进行了研究。推导了双通道复合系统的象差公式,提出了设计广义变轴复合系统的方法。对其构成方式进行了讨论,具体设计出一个广义变轴复合系统。并推导了双通道复合系统的偏转场计算公式,设计了一个双静电偏转场双物镜复合系统。
吴亚军王建琨
关键词：电子束曝光机计算机
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