姚奎鸿
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 供职机构：浙江工程学院更多>>
- 发文基金：高等学校国家重点实验室和教育部重点实验室访问学者专项基金浙江省科技计划项目更多>>
- 相关领域：理学电子电信化学工程更多>>
- 亚稳态富硅烷—氮—氧混合气制备及其着火特性被引量：1
- 2002年
- 采用氮气预稀释方法制备了亚稳态的富硅烷—氮—氧混合体系 ,对这种混合气的稳定性和着火特性进行了实验 ,表明氮气预稀释对抑制硅烷着火有明显效果 ,所制备的亚稳态混合物有较高的稳定性 ,但是释放时的阻流会引发爆炸 ,只有在总压力低于 0 .5 MPa,氮气含量高于 86 % V/V时才能抑制爆炸的发生。
- 余京松王勇姚奎鸿
- 关键词：混合气着火特性氮气氧气稳定性
- 厚二氧化硅光波导薄膜制备及其特性分析被引量：5
- 2004年
- 以硅烷和氧化二氮作为反应气体 ,采用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)技术 ,不使用掺杂 ,在单晶硅衬底上制备了用于平面光波导的二氧化硅薄膜。研究了薄膜折射率和淀积速率与工艺参量之间的关系 ,通过棱镜耦合仪、傅里叶变换红外光谱、原子力显微镜等测试手段 ,分析了薄膜的结构和光学特性。结果表明 ,实验能快速生长厚二氧化硅薄膜 ,薄膜表面平整 ,颗粒度均匀 ,同时薄膜具有折射率精确可控和红外透射性能好的特点 ,非常适合制作光波导器件。
- 娄丽芳盛钟延姚奎鸿肖丙刚何赛灵
- 关键词：波导光学平面光波导等离子体增强化学气相沉积二氧化硅薄膜PECVD傅里叶变换红外光谱
