苏朋
- 作品数：6 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国航空工业集团公司更多>>
- 相关领域：一般工业技术机械工程更多>>
- 365 nm光刻照明系统中变焦系统的设计及公差分析被引量：4
- 2022年
- 照明系统是投影光刻曝光光学系统的重要组成部分,它实现的功能是为掩模面提供高均匀性照明、控制曝光剂量以及不同照明模式。变焦系统作为光刻照明系统的重要组成部分,对提高整个光刻机的性能起着至关重要的作用。文中针对紫外光刻照明系统的特点,采用CODE V软件完成了波长365 nm,入瞳直径Φ33 mm,像方远心度≤10 mrad,畸变≤±2%近紫外光刻照明系统中变焦系统的设计,分析了变焦系统的误差源对系统光瞳性能的影响,结合变焦系统的设计方案和实际加工能力,给出单面厚度公差需小于20μm,动件移动精度小于0.5 nm,各透镜偏心公差小于0.02 mm,各透镜倾斜公差控制在1′之内。制定公差合理、可行,满足了紫外光刻照明系统高均匀性、高能量利用率的要求。
- 苏朋
- 关键词：紫外光刻分辨率光学设计公差分析
- 红外多视场光路系统
- 本实用新型涉及红外多视场光路系统，包括至少两个前光路系统和一个后光路系统，后光路系统包括一个旋转反射镜组，用于将各前光路系统分别与后光路系统组成不同视场的光路系统。本实用新型通过采用旋转反射镜的方法实现红外多视场的转换。...
- 张良潘晓东何磊苏朋
- 一种连续变焦光学系统
- 本发明涉及一种连续变焦光学系统，包括前置连续变焦透镜组和会聚透镜组；前置连续变焦透镜组包括同光轴依次设置的第一物镜、变倍透镜、补偿透镜、第二物镜、第一目镜、第二目镜，会聚透镜组包括同光轴依次设置的第一会聚透镜、第二会聚透...
- 张良潘晓东王洛君苏朋
- 文献传递
- 一种红外多视场光路系统
- 本发明涉及一种红外多视场光路系统，包括至少两个前光路系统和一个后光路系统，后光路系统包括一个旋转反射镜组，用于将各前光路系统分别与后光路系统组成不同视场的光路系统。本发明通过采用旋转反射镜的方法实现红外多视场的转换。采用...
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- 一种连续变焦光学系统
- 本发明涉及一种连续变焦光学系统，包括前置连续变焦透镜组和会聚透镜组；前置连续变焦透镜组包括同光轴依次设置的第一物镜、变倍透镜、补偿透镜、第二物镜、第一目镜、第二目镜，会聚透镜组包括同光轴依次设置的第一会聚透镜、第二会聚透...
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- 一种红外多视场光路系统
- 本发明涉及一种红外多视场光路系统，包括至少两个前光路系统和一个后光路系统，后光路系统包括一个旋转反射镜组，用于将各前光路系统分别与后光路系统组成不同视场的光路系统。本发明通过采用旋转反射镜的方法实现红外多视场的转换。采用...
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