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曾伟

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：天津大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：天津市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇微结构
  • 1篇力学性能
  • 1篇溅射
  • 1篇复合膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇力学性

机构

  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇叶福兴
  • 1篇曾伟
  • 1篇郭磊

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
C含量对WAlCN复合膜的微结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响
2016年
采用磁控溅射物理气相沉积法沉积了不同含C量(0~20.7%(原子比))的WAlCN复合膜。利用X射线衍射和Raman表征了WAlCN膜的微结构;用扫描电镜、压痕仪和高温摩擦磨损仪等研究了其力学和摩擦磨损性能。结果表明:复合膜是由石墨相和面心立方的WAlN相构成,呈(200)择优生长。当WAlCN复合膜含C量增加时,它的硬度值会先升高后降低,当复合膜含C量达到11.2%时硬度出现最大值,约为37.7 GPa。加入C元素减少了WAlCN膜的摩擦系数,而其磨损率则先减小后增大。当WAlCN复合膜含C量达到20.7%时,摩擦系数值最小为0.25,此时磨损率为1.44×10^(-8)mm^3/N·mm。总之,加入C元素后显著提高了WAlCN膜的综合性能。
曾伟赵洪舰郭磊叶福兴
关键词：磁控溅射微结构力学性能
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