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王世通
作品数:
7
被引量:7
H指数:1
供职机构:
浙江大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
陈晓钰
浙江大学
杨甬英
浙江大学
卓永模
浙江大学
曹频
浙江大学
高鑫
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浙江大学
作者
7篇
王世通
6篇
卓永模
6篇
杨甬英
6篇
陈晓钰
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曹频
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高鑫
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1篇
2015
3篇
2013
3篇
2012
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7
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精密表面缺陷检测散射成像理论建模及系统分析研究
精密超光滑表面元件的缺陷数字化检测是光学加工及检测领域迫切需要解决的关键技术问题。空间光学、惯性约束核聚变、高功率激光、微光学、极紫外光刻、超大规模集成电路等光学前沿和电子工业领域大量应用大口径超光滑表面元件,因此都需要...
王世通
关键词:
光学检测
时域有限差分法
图像处理
大尺寸光学元件高精度调平方法与装置
本发明公开了一种大尺寸光学元件高精度调平方法与装置。本发明利用高倍率显微镜对元件表面不同位置的三特征点分别进行连续多幅暗场灰度图像采集,计算图像灰度信息熵值,拟合灰度信息熵值与显微镜轴向移动距离曲线,通过搜寻曲线中极小值...
杨甬英
曹频
陈晓钰
王世通
卓永模
大尺寸光学元件高精度调平方法与装置
本发明公开了一种大尺寸光学元件高精度调平方法与装置。本发明利用高倍率显微镜对元件表面不同位置的三特征点分别进行连续多幅暗场灰度图像采集,计算图像灰度信息熵值,拟合灰度信息熵值与显微镜轴向移动距离曲线,通过搜寻曲线中极小值...
杨甬英
曹频
陈晓钰
王世通
卓永模
文献传递
光学表面疵病暗场检测中疵病宽度标定标准化方法
本发明公开了一种光学表面疵病暗场检测中疵病宽度标定标准化系统及方法。本发明解决了疵病检测中物面疵病的实际宽度与CCD成像像素宽度的关联问题。本发明的技术特点在于:为模拟存在疵病的光学表面,制作一个刻有一系列标准宽度刻线的...
杨甬英
陈晓钰
王世通
高鑫
卓永模
文献传递
超光滑表面缺陷检测系统及其畸变校正方法
本发明提出了一种超光滑表面缺陷检测系统及其畸变校正方法。本发明解决了超光滑表面缺陷检测系统中因为存在光学畸变而造成的子图像拼接时的缺陷断裂问题。本发明的技术特点在于,设计了一种超光滑表面缺陷检测系统和畸变校正标准板及标准...
杨甬英
王世通
曹频
陈晓钰
卓永模
光学表面疵病暗场检测中疵病宽度标定标准化系统及方法
本发明公开了一种光学表面疵病暗场检测中疵病宽度标定标准化系统及方法。本发明解决了疵病检测中物面疵病的实际宽度与CCD成像像素宽度的关联问题。本发明的技术特点在于:为模拟存在疵病的光学表面,制作一个刻有一系列标准宽度刻线的...
杨甬英
陈晓钰
王世通
高鑫
卓永模
超光滑表面缺陷检测系统的畸变校正方法
本发明提出了一种超光滑表面缺陷检测系统的畸变校正方法。本发明解决了超光滑表面缺陷检测系统中因为存在光学畸变而造成的子图像拼接时的缺陷断裂问题。本发明的技术特点在于,设计了一种超光滑表面缺陷检测系统和畸变校正标准板及标准板...
杨甬英
王世通
曹频
陈晓钰
卓永模
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