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赵佩月
作品数:
9
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供职机构:
中国科学院电子学研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
医药卫生
电气工程
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合作作者
孙建海
中国科学院电子学研究所
刘春秀
中国科学院电子学研究所
刘昶
中国科学院电子学研究所
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9篇
中国科学院电...
作者
9篇
孙建海
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赵佩月
5篇
刘春秀
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刘昶
年份
1篇
2021
1篇
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3篇
2018
1篇
2017
3篇
2015
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一种MEMS锂电池及其制造方法
本发明公开了一种MEMS锂电池,包括第一外壳,其上形成有一空腔且在空腔内一体形成电池正极;第二外壳,采用与第一外壳相同材料制成,其上形成有一与第一外壳相对接的空腔,且在空腔内一体形成电池负极;以及电解质,容纳于第一外壳和...
孙建海
赵佩月
刘昶
马天军
文献传递
一种MEMS锂电池的制造方法
本发明公开了一种MEMS锂电池的制造方法,包括分别制造第一外壳,其上形成有一空腔且在空腔内一体形成电池正极,以及第二外壳,采用与第一外壳相同材料制成,其上形成有一与第一外壳相对接的空腔,且在空腔内一体形成电池负极;然后将...
孙建海
赵佩月
刘昶
马天军
多传感色谱检测仪及检测方法
一种多传感色谱检测仪及检测方法,所述检测仪包括气体入口、干燥净化装置、流量控制器、电磁阀、定量气路管、隔膜阀、色谱柱、传感单元、气路通道及采样泵。本发明的多传感色谱检测仪去掉了传统色谱仪所需要的载气系统,大幅减小系统的体...
孙建海
刘春秀
薛宁
赵佩月
双腔式光声光谱仪
本发明提供了一种双腔式光声光谱仪,包括:光源调制模块,用于产生红外原始光并进行调制,得到调制光;滤光盘,包括至少一片滤光片,各滤光片的中心波长不同,所述滤光片用于从所述调制光中过滤得到中心波长与待测物的各组分吸收的红外线...
孙建海
赵佩月
刘春秀
薛宁
文献传递
密度分布型的微型色谱柱芯片及其制造方法
本公开提供了一种密度分布型的微型色谱柱芯片及其制造方法,由于接近入口部分的沟道内气阻较小,越接近色谱柱的出口气阻越大,气体在整个色谱沟道内的流速及压强分布非常不均,因此本公开通过改变沟道内立柱墙的设置密度,在提高色谱沟道...
孙建海
薛宁
刘春秀
赵佩月
文献传递
一种在三维立柱阵列表面形成多孔结构的方法
本发明公开了一种在三维立柱阵列表面形成多孔结构的方法,包括:配制腐蚀液,以硅片为基底,在其表面溅射一层金属作为电极,将电极与待制备多孔硅层的硅基底面对面垂直放置在腐蚀液中,并与外部电源连接,腐蚀20~60分钟,形成多孔结...
孙建海
赵佩月
刘昶
马天军
文献传递
密度分布型的微型色谱柱芯片及其制造方法
本公开提供了一种密度分布型的微型色谱柱芯片及其制造方法,由于接近入口部分的沟道内气阻较小,越接近色谱柱的出口气阻越大,气体在整个色谱沟道内的流速及压强分布非常不均,因此本公开通过改变沟道内立柱墙的设置密度,在提高色谱沟道...
孙建海
薛宁
刘春秀
赵佩月
一种MEMS锂电池的制造方法
本发明公开了一种MEMS锂电池的制造方法,包括分别制造第一外壳,其上形成有一空腔且在空腔内一体形成电池正极,以及第二外壳,采用与第一外壳相同材料制成,其上形成有一与第一外壳相对接的空腔,且在空腔内一体形成电池负极;然后将...
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多传感色谱检测仪及检测方法
一种多传感色谱检测仪及检测方法,所述检测仪包括气体入口、干燥净化装置、流量控制器、电磁阀、定量气路管、隔膜阀、色谱柱、传感单元、气路通道及采样泵。本发明的多传感色谱检测仪去掉了传统色谱仪所需要的载气系统,大幅减小系统的体...
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