李文龙 作品数:26 被引量:6 H指数:1 供职机构: 沈阳仪表科学研究院有限公司 更多>> 相关领域: 理学 机械工程 电气工程 金属学及工艺 更多>>
非球面光学元件的智能柔性抛光方法及其所采用的智能柔性抛光装置 本发明属光学加工技术领域,尤其涉及一种非球面光学元件的智能柔性抛光方法及其所采用的智能柔性抛光装置。智能柔性抛光方法包括(1)机器人通过传感器扫描工件采集工件特征信息;(2)机器人控制系统确定抛光理论轨迹;(3)抛光机构... 刘海涛 王银河 李野 赵陨 李文龙 孙朝阳 姚春龙 刘新华文献传递 紫外光刻机曝光系统用精密介质膜反射镜及其镀制方法 本发明属半导体集成电路制造领域,特别涉及一种紫外光刻机曝光系统用精密介质膜反射镜及其镀制方法,包括非球面基片(1)及交替叠置多层非周期膜;所述交替叠置多层非周期膜沉积于非球面基片(1)的内表面;交替叠置多层非周期膜包括高... 宋光辉 姚春龙 王银河 刘新华 战俊生 李文龙 雷鹏紫外固化铝增强型椭球反射镜光学薄膜设计及镀制方法 被引量:1 2021年 增强型光学薄膜通过在铝膜上交替镀制多层介质薄膜,可提升局部波长范围的反射率。由于深椭球反射镜的曲面特性,膜层反射率从底部至外侧不一致,外侧的反射率略低。文章介绍了紫外固化系统用深椭球反射镜的铝增强型反射膜层设计及镀制工艺。实验表明,铝增强型膜可比铝膜提升7%的反射率;同时提升铝膜层表面的保护效果,增加了膜层强度和耐用性,达到了设计要求。 王银河 宋光辉 李文龙 刘海涛关键词:紫外 光学薄膜 反射率 厚光学玻璃紫外透射率测试方法及其所采用的测试装置 本发明属光学检测领域,尤其涉及厚光学玻璃紫外透射率测试方法及其所采用的测试装置,包括氘灯光源发出的紫外光经过汇聚透镜进入入射传输光纤;入射传输光纤经过凸透镜产生平行光输出;平行光经过待测的光学玻璃后进入耦合光纤;经输出光... 王银河 宋光辉 胡雯雯 梁显鹏 张帆 刘海涛 李文龙 黎冰非球面光学元件的立式双磨头磨削加工方法及其所采用的加工装置 本发明属光学加工技术领域,尤其涉及一种非球面光学元件的立式双磨头磨削加工方法及其所采用的加工装置,采用四轴系二轴可联动方式,由水平往复轴X<Sub>1</Sub>(3)及固定其上的上下往复磨架Z<Sub>1</Sub>轴... 刘海涛 王银河 宋光辉 李文龙 毕高峰文献传递 基于QFD和DOE的反光镜膜层表面缺陷改进研究 2019年 本文以光学反光镜为研究对象,通过QFD(Quality Function Deployment)获取顾客对光学反光镜膜层质量需求以及产品生产过程中所产生的质量缺陷统计,结合光学反光镜镀膜工艺,将这些需求以质量屋的形式转换为薄膜镀制过程中影响膜层质量的众多工艺因素,运用DOE(Desiqn of Experiment)试验方法对关键工艺因素进行优化设计、试验过程实施,试验结果采用检验测试、极差分析等方法进行分析,最终获得针对膜层表面缺陷改进的最优工艺参数组合。经试验验证,所构建的顾客需求为导向的QFD和DOE集成改进模型在反光镜膜层表面性能缺陷改进方面均取得了较好的实际应用效果。 赵陨 穆佳丽 李明华 李文龙 姚春龙关键词:质量功能展开 反光镜 膜层质量 超精密大口径非球面加工关键技术研究 被引量:1 2021年 针对光学大口径非球面加工难度大等问题,通过分析其轴对称非球面方程及加工误差,给出砂轮加工的几何模型,分析误差产生的原因并提出解决策略。同时,采用四轴联动超精密铣磨机床和圆角砂轮实际加工非球面,检测其面形精度并进行误差对比分析。结果表明:①在加工精度和稳定性上,圆角砂轮比平行砂轮有较大优势;②砂轮的壁厚与工件加工量相近时,砂轮的磨损变形较小,工件的面形精度较高;③为了提高工件加工精度,可以相应增大砂轮的圆角半径。 刘海涛 宋光辉 李文龙 王银河 孙朝阳关键词:超精密加工 非球面光学元件的智能柔性抛光装置 本实用新型属光学加工技术领域,尤其涉及一种非球面光学元件的智能柔性抛光装置,包括(1)机器人通过传感器扫描工件采集工件特征信息;(2)机器人控制系统确定抛光理论轨迹;(3)抛光机构带动抛光气囊沿抛光理论轨迹在工件表面上运... 刘海涛 王银河 李野 赵陨 李文龙 孙朝阳 姚春龙 刘新华文献传递 逆卡塞格林式照明系统位置偏差对光斑质量的影响分析 被引量:1 2020年 逆卡塞格林式光学系统,因其超高的光源利用率,逐渐广泛应用于照明领域中。系统内各光学件有严格的位置关系,但实际使用中,相对位置关系会产生一定偏差,进而对光斑质量产生影响。本文设计一套组合反射镜模型,基于TracePro光学软件,对光源、反射镜不同位置变化时的光路进行模拟,并对光斑变化情况进行分析,为实际的光路设计及调试提供理论数据参考。 李文龙 宋光辉 李明华 刘海涛 刘新华 王银河关键词:TRACEPRO 非球面反射镜透射率测量卡具 本实用新型属反射镜反射率测量领域,尤其涉及一种非球面反射镜透射率测量卡具,包括反射镜夹板(1)及底板(2);所述反射镜夹板(1)的底部与底板(2)的一边活动轴接;在所述反射镜夹板(1)与底板(2)之间固定设有角度标尺滑道... 李文龙 刘新华 王银河 宋光辉 刘海涛文献传递