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谢二庆

作品数：1 被引量：10H指数：1
供职机构：兰州大学物理系更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化钛
  • 1篇电弧离子镀
  • 1篇性能研究
  • 1篇离子镀
  • 1篇化学热处理
  • 1篇衬底
  • 1篇TIN

机构

  • 1篇兰州大学

作者

  • 1篇徐灿
  • 1篇陈光华
  • 1篇谢二庆

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇1996
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
不同衬底上TiN薄膜的制备及性能研究被引量：10
1996年
利用电弧离子镀技术在不锈钢、硅衬底及玻璃衬底上沉积了ＴｉＮ薄膜，并在大气环境下进行了７００℃３０ｍｉｎ退火处理。测量了其退火前后的硬度，Ｘ射线分析了退火前后的成分，对硅衬底上沉积的薄膜则测量了退火前的电阻率变化。在玻璃衬底上改变实验条件沉积了不同颜色的薄膜，测量了不同色泽薄膜的电阻率和制备条件的关系。对退火后薄膜内微观结构的变化进行初步分析，由此讨论了退火后薄膜硬度及电阻率变化的原因，并解释了制备条件变化及退火处理对所制薄膜色泽影响及机理。
杨今漫徐灿谢二庆陈光华
关键词：电弧离子镀氮化钛化学热处理
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共1页<1>
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