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张德龙

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：南开大学更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学

主题

  • 2篇溅射
  • 2篇轰击
  • 1篇入射
  • 1篇入射角
  • 1篇金属
  • 1篇金属铜
  • 1篇角分布
  • 1篇NE
  • 1篇铜

机构

  • 2篇中国科学院
  • 2篇烟台师范学院
  • 1篇南开大学
  • 1篇天津师范大学

作者

  • 2篇李岱青
  • 2篇刘家瑞
  • 2篇张德龙

传媒

  • 1篇核技术
  • 1篇烟台师范学院...

年份

  • 1篇1992
  • 1篇1991
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
100keV Ar^+、Ne^+轰击铜靶所产生的溅射原子角分布与离子入射角的关系被引量：1
1992年
在40°和70°斜入射条件下,用100keV Ar^+、Ne^+轰击铜靶,Ar^+所产生的溅射原子角分布的溅射优先方向分别位于表面法线的两侧,溅射原子角分布对于表面法线明显不对称;而Ne^+所对应的溅射优先方向都位于表面法线方向,且溅射原子角分布对于表面法线是对称的。用级联碰撞理论分析了所得到的实验结果,并比较了Ar^+和Ne^+溅射机制上的不同。
李岱青刘家瑞徐天冰张德龙
关键词：溅射角分布入射角
金属铜在100keVAr^+轰击下的溅射特性
1991年
金属铜在100keVAr^+的垂直入射和40°以及70°入射角的倾斜入射下,溅射原子角分布有较大的变化。垂直入射时溅射原子角分布关于金属表面法线是对称的;40°和70°角倾斜入射时溅射原子角分布的对称线关于表面法线分别偏离了7°和-12°产生这一现象的微观机制在于倾斜入射时入射离子所产生的反冲原子级联是非线性的。
李岱青刘家瑞徐田冰张德龙
关键词：铜溅射
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共1页<1>
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