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韦风
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1
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华南理工大学
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
谢晋
华南理工大学
周锐铭
华南理工大学
徐静
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1篇
徐静
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周锐铭
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谢晋
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韦风
年份
1篇
2014
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微金刚石磨粒切削刃参数可控的精密镜面磨削方法与应用
谢晋
徐静
韦风
周锐铭
光电芯片及基板的表面质量决定的光电间转换性能,但是,芯片及基板的材料多为硬脆性的硅、玻璃、陶瓷等,加工极为困难.通常的加工方法是采用细和粗的金刚石砂轮分别进行粗细和精密的磨削加工,然后采用微纳米尺度的游离磨料进行研磨和抛...
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金刚石砂轮
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