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曾祥平
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成都信息工程大学
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黄金
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彭烨
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张白
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张白
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黄金
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2018
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一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法
本发明公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法,包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组,其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束,光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装...
许诚昕
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一种采用波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法
本发明公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法,包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组,其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束,光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装...
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一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪
本实用新型公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组,其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束,光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装置包括测量...
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