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文献类型

  • 11篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 5篇列阵
  • 3篇透镜
  • 3篇微光学
  • 3篇微光学元件
  • 3篇微透镜
  • 3篇细胞
  • 3篇刻蚀
  • 3篇光学
  • 3篇光学元件
  • 3篇超精
  • 3篇超精密
  • 2篇等离子体刻蚀
  • 2篇阵列
  • 2篇容差
  • 2篇三棱锥
  • 2篇生物芯片
  • 2篇石英
  • 2篇逆反射
  • 2篇全反射
  • 2篇热固化

机构

  • 12篇中国科学院重...
  • 1篇长春理工大学

作者

  • 12篇张为国
  • 12篇张东
  • 11篇杜春雷
  • 9篇夏良平
  • 8篇朱国栋
  • 6篇史浩飞
  • 6篇张之胜
  • 4篇刘风雷
  • 3篇朱晓强
  • 3篇杨勰
  • 2篇熊欣
  • 1篇董连和
  • 1篇王德强
  • 1篇汤明杰
  • 1篇高明友

传媒

  • 1篇光电工程

年份

  • 3篇2018
  • 1篇2017
  • 8篇2016
12 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
无机微光学元件批量化制作方法
本发明利用超精密车削、激光直写、光刻、高能束写的方法制作出任意结构的微光学元件模具,然后将该类模具通过热固化、紫外固化、刻蚀传递等复制工艺将微光学元件模具进行复制成为更多高分子材料或晶体材料模具,再将复制的模具通过电铸工...
张为国夏良平朱国栋朱晓强张东杨勰王德强杜春雷
文献传递
微棱镜反光材料制作方法
一种微棱镜反光材料制作方法,采用金刚石车床超精密切削工艺在塑料、金属、胶体及晶体等材料上制作微棱镜结构反光材料原始图形模具;然后将带有微棱镜图案的原始模具通过热固化、紫外固化、复制工艺制作出PDMS、PC、PMMA、光敏...
张为国张东夏良平朱国栋杜春雷
文献传递
车削掩模的石英非球面微透镜阵列制作方法被引量:1
2018年
为解决石英非球面微透镜阵列加工所面临的工艺可控性差且面型精度不高这两大难点,提出了一种基于车削掩模刻蚀的石英玻璃元件制作方法。该方法主要使用了单点金刚石车削加工技术与反应离子刻蚀技术,研究了掩模材料车削及刻蚀性能,并利用实验优选出掩模材料,最后进行了面积为5 mm×5 mm石英玻璃非球面微透镜阵列的制备。通过实验结果与预期参数进行对比,分析表明,该方法制作的石英玻璃元件误差均方根为1.155 nm,面型精度误差0.47%。
王灏董连和朱国栋张东张为国
关键词:掩模石英玻璃金刚石车削反应离子刻蚀
一种薄膜基底微通孔列阵生物芯片及其制作方法
本发明公开了一种薄膜基底微通孔列阵生物芯片及其制作方法,薄膜基底微通孔列阵生物芯片主要利用癌细胞通常大于正常细胞的性质,采用一系列直径大于正常细胞但小于癌细胞的通孔,通过过滤筛选的方法,将两者分离。本发明公开的一种薄膜基...
张之胜张为国王赟姣张东夏良平汤明杰史浩飞杜春雷
文献传递
连续面形石英微光学元件机械‑刻蚀复合加工方法
本发明提供一种连续面形石英微光学元件机械‑刻蚀复合加工方法,主要采用高分子材料涂覆及固化、金刚石超精密切削掩模、等离子体刻蚀工艺流程。该方法可实现石英材质微透镜列阵、微柱透镜、菲涅尔透镜等微光学元件的高精度制作,为紫外波...
张为国朱国栋张东熊欣刘风雷史浩飞杜春雷
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一种双面微棱锥阵列的逆反射结构
一种双面微棱锥阵列的逆反射结构,基本结构单元为双面对准的微小三棱锥阵列,组成微棱锥的三个面的夹角均大于90度,光线从空气中经上三棱锥折射后进入下三棱锥,在下三棱锥表面发生多次全反射返回上三棱锥,再折射后沿原路返回,形成逆...
夏良平张为国朱国栋张东刘风雷朱晓强张之胜杜春雷
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微棱镜反光材料制作方法
一种微棱镜反光材料制作方法,采用金刚石车床超精密切削工艺在塑料、金属、胶体及晶体等材料上制作微棱镜结构反光材料原始图形模具;然后将带有微棱镜图案的原始模具通过热固化、紫外固化、复制工艺制作出PDMS、PC、PMMA、光敏...
张为国张东夏良平朱国栋杜春雷
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微通孔列阵癌细胞检测芯片紫外压印制作方法
本发明提供一种微通孔列阵癌细胞检测芯片紫外压印制作方法,隶属微纳加工领域,该方法采用紫外压印的技术,在高分子薄膜材料上制作出微通孔列阵。该方法的思路为在透明印模的突出部分镀金属掩蔽层作为挡光膜,在紫外压印时挡光处理,使其...
张东张为国张之胜王赟姣高明友夏良平史浩飞杜春雷
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连续面形石英微光学元件机械-刻蚀复合加工方法
本发明提供一种连续面形石英微光学元件机械?刻蚀复合加工方法,主要采用高分子材料涂覆及固化、金刚石超精密切削掩模、等离子体刻蚀工艺流程。该方法可实现石英材质微透镜列阵、微柱透镜、菲涅尔透镜等微光学元件的高精度制作,为紫外波...
张为国朱国栋张东熊欣刘风雷史浩飞杜春雷
文献传递
一种基于微通孔芯片的肿瘤细胞分离装置
本实用新型公开了一种基于微通孔芯片的肿瘤细胞分离装置,该装置由血液样品注射器、过滤器、注射针头及负压装置从上往下依次连接组装而成,其中,过滤器从上往下依次由血液样品注入口、过滤器上盖、密封垫圈、过滤芯片、芯片支架、过滤器...
王赟姣张为国杨勰张之胜张东夏良平史浩飞杜春雷
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共2页<12>
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