张子超
- 作品数：4 被引量：10H指数：1
- 供职机构：大连交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程航空宇航科学技术更多>>
- 超合金基底NiCr高温薄膜应变计的制备及高温特性研究
- 航天发动机作为航天器的核心部件,在工作中会受到高温、高压、强烈振动的影响,长时间工作会造成发动机故障。因此,使用传感器准确测量高温环境下航空发动机工作的状态是目前面临的一个难题,薄膜应变计具有响应速度快、灵敏系数高、耐高...
- 张子超
- 关键词：光刻工艺电阻温度系数
- 文献传递
- 一种高温薄膜应变计及其制作方法
- 本发明公开了一种高温薄膜应变计及其制作方法，包括SiO<Sub>2</Sub>绝缘薄膜、应变计敏感栅薄膜、敏感栅遮挡薄膜、焊盘遮挡薄膜，所述应变计敏感栅的区域覆盖有敏感栅遮挡薄膜，所述应变计敏感栅以外的区域覆盖有焊盘遮挡...
- 崔云先张子超张启翔李东明费继友
- 文献传递
- 一种高温薄膜应变计及其制作方法
- 本发明公开了一种高温薄膜应变计及其制作方法，包括SiO<Sub>2</Sub>绝缘薄膜、应变计敏感栅薄膜、敏感栅遮挡薄膜、焊盘遮挡薄膜，所述应变计敏感栅的区域覆盖有敏感栅遮挡薄膜，所述应变计敏感栅以外的区域覆盖有焊盘遮挡...
- 崔云先张子超张启翔李东明费继友
- 文献传递
- NiCr高温薄膜电阻应变计制备及耐高温性能研究被引量：10
- 2016年
- 针对高温环境下应力应变测试的技术难题,提出了一种以NiCr薄膜为敏感材料的高温薄膜应变计的制备方法,并对薄膜应变计敏感层的耐高温性能进行研究。研究发现,NiCr薄膜在高温下微观结构、成分发生明显转变,电学性能急剧下降。对添加SiN_xO_y和ITO薄膜后的NiCr薄膜分别进行高温测试发现,NiCr薄膜结构、性能没有明显改变,表明SiN_xO_y和ITO薄膜保护下的NiCr薄膜高温下性能稳定。所制的高温薄膜应变计在50~350℃内电阻温度系数为（80~787）×10-6/K,常温下应变灵敏系数为1.19,机械滞后为5.02,高温下的应变测试性能有待进一步研究。
- 崔云先张子超丁万昱胡晓勇张启翔
- 关键词：耐高温性能光刻工艺电阻温度系数
