沈文江
- 作品数：45 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术生物学更多>>
- 一种MEMS振镜及光学系统
- 本申请公开了一种MEMS振镜及光学系统，其中，所述MEMS振镜将激励线圈、信号输入端和信号输出端均设置在边缘结构上，所述激励线圈根据接收的激励信号，通过机械耦合和机械放大效应，实现间接的微镜驱动，避免了激励线圈在工作过程...
- 王锦沈文江冯奇沙华露余晖俊宁文果王帅周鹏李智星高咏
- 文献传递
- 基于MEMS微镜角度反馈的新型封装应力隔离结构被引量：1
- 2022年
- 在微机电系统微镜转轴处集成角度传感器,可用来检测镜面偏转角度实现闭环控制,但封装和实际工况的扰动会给微镜结构引入额外应力,造成压阻角度传感器的灵敏度漂移。为提高微镜在应用场景中偏转角的控制精度,减小封装热应力给集成压阻角度传感器带来的误差信号,提出了一种应力隔离结构。当环境温度变化时,微镜的封装会引入额外的应力,通过理论计算得到这种应力会引起芯片的轴向形变。为探究轴向形变对压阻角度传感器输出特性的影响,建立了压阻传感器的受力分析模型,计算结果表明,轴向应力会改变压阻角度传感器的输出幅值,是导致误差信号的主要因素。利用微纳加工技术制备集成压阻角度传感器的微镜,实验结果表明:传统结构芯片在12μm的轴向拉伸和轴向压缩下,压阻角度传感器的灵敏度从19.22 mV/°增加到20.16 mV/°,变化幅度为0.94 mV/°,其灵敏度随着形变量呈现明显的发散趋势;而有应力隔离结构的芯片在相同形变条件下,传感器的灵敏度则从19.37 mV/°增加到19.67 mV/°,变化幅度收敛至0.3 mV/°,有效地提高了角度传感器在不同形变条件下的稳定性。在机械可靠性方面,两种结构均通过了抗冲击和抗振动测试。
- 钱磊胡杰单亚蒙王俊铎周鹏周鹏
- 关键词：微机电系统压阻传感器
- 射频MEMS开关的制作方法及射频MEMS开关
- 本发明公开了提供了一种射频MEMS开关的制作方法及其结构，射频MEMS开关的制作方法包括：提供第一衬底，在第一衬底上形成共面波导和第一电极，第一电极连接共面波导；提供第二衬底，在第二衬底上形成触点结构；将第一衬底设置有共...
- 于悦沈文江
- 一种基于Au/In等温凝固的低温键合方法
- 本发明公开一种基于Au/In等温凝固的低温键合方法，包括：在第一基片的键合面上形成第一金图案层；在第二基片的键合面上形成凸点图案层；在第二基片的键合面上依次形成覆盖所述凸点图案层的第二金图案层和铟图案层；将所述第一基片的...
- 沈文江
- 文献传递
- 一种基于Au/In等温凝固的低温键合方法
- 本发明公开一种基于Au/In等温凝固的低温键合方法，包括：在第一基片的键合面上形成第一金图案层；在第二基片的键合面上形成凸点图案层；在第二基片的键合面上依次形成覆盖所述凸点图案层的第二金图案层和铟图案层；将所述第一基片的...
- 沈文江
- 文献传递
- 微电容超声传感器
- 本实用新型公开了一种微电容超声传感器，包括：衬底、设置于衬底上表面的下电极组件、上膜以及设置于上膜上表面的上电极组件，衬底上表面还设置有封闭环绕下电极组件的下密封线圈，上膜下表面凹设有用于收容下电极组件的收容腔以及封闭环...
- 苗静沈文江熊继军薛晨阳
- 文献传递
- 垂直梳齿静电驱动微镜结构、制造方法及驱动微镜
- 本发明公开了一种垂直梳齿静电驱动微镜结构，包括：第一基片，所述第一基片包括至少两个梳齿结构，所述梳齿结构包括动梳齿和静梳齿，所述动梳齿和所述静梳齿之间具有高度差。本发明也公开了一种上述垂直梳齿静电驱动微镜结构的制造方法。...
- 沈文江范延军
- 文献传递
- 可编译的结构光投影系统
- 本发明公开了可编译的结构光投影系统，所述可编译的结构光投影系统包括图像编译单元、控制中心、光源、MEMS微镜以及反馈单元等器件。图像编译单元用于根据输入的编译语言对待投影的结构光的图案信息进行编译；控制中心用于控制光源向...
- 周鹏沈文江黄艳飞李小光
- 文献传递
- 微流控芯片及其制作方法
- 本发明提供了一种微流控芯片，其包括：基板；在基板上的插齿电极；在基板上且覆盖所述插齿电极的绝缘层；在所述绝缘层中且与所述插齿电极电接触的电极片；在所述绝缘层上的图案化粘结件，其中，所述图案化粘结件具有中空结构；在所述图案...
- 王慧沈文江
- 文献传递
- 射频MEMS开关器件及其制作方法
- 提供了一种射频MEMS开关器件，其包括：衬底；设置于所述衬底上的信号线、地线以及第一电极，所述信号线与所述地线彼此间隔，并且与所述第一电极连接；设置于所述第一电极上方以与所述第一电极面对的第二电极，所述第二电极与所述第一...
- 戚昀沈文江杨媛媛
- 文献传递
