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李嘉

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：山东工业大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电子束
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇邻近效应校正

机构

  • 1篇山东工业大学

作者

  • 1篇王建琨
  • 1篇李嘉

传媒

  • 1篇山东工业大学...

年份

  • 1篇1989
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
电子束曝光的邻近效应校正及显影模拟
1989年
将付里叶变换法运用于电子束曝光的邻近效应校正中,形成了快速、准确的剂量校正法。给出了描述预校正剂量和有效曝光剂量计算结果的三维图形。在电子束曝光胶图形的三维显影模拟工作中,首次使用了最精确的三维线踪模型。
李嘉王建琨王绍君
关键词：电子束
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共1页<1>
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