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魏明真

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：南京大学更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇一般工业技术

主题

  • 3篇多层膜
  • 3篇金属多层膜
  • 2篇单晶
  • 2篇单晶硅
  • 2篇单晶硅片
  • 2篇电子行业
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子行业
  • 2篇溅射
  • 2篇溅射法
  • 2篇高真空
  • 2篇硅片
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 2篇磁控溅射法
  • 1篇微观结构
  • 1篇力学性能
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米金属
  • 1篇纳米金属多层...

机构

  • 3篇南京大学

作者

  • 3篇魏明真
  • 2篇操振华
  • 2篇孟祥康
  • 2篇孙超
  • 2篇蔡云鹏

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2018
  • 1篇2015
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种金属多层膜的制备方法
本发明涉及一种金属多层膜的制备方法，先将单晶硅片依次由丙酮和乙醇超声清洗，吹干后放入超高真空磁控溅射设备基片台上，准备镀膜；采用直流磁控溅射法，将金属靶材放在真空室靶台上，在本底真空度为1.0×10<Sup>‑5</Su...
操振华孙超魏明真马玉洁王耿洁蔡云鹏孟祥康
文献传递
金属多层膜微观结构与力学性能的尺度效应
纳米金属多层膜由于具有周期性的调制结构，晶粒生长受到组元层间尺度的约束和异质界面的影响，与传统的块体材料或合金相比，多层膜材料往往表现出奇特的力学性能。在研究中发现，多层膜的力学性能与结构的特征尺度密切相关。随着纳米多层...
魏明真
关键词：纳米金属多层膜微观结构力学性能
文献传递
一种金属多层膜的制备方法
本发明涉及一种金属多层膜的制备方法，先将单晶硅片依次由丙酮和乙醇超声清洗，吹干后放入超高真空磁控溅射设备基片台上，准备镀膜；采用直流磁控溅射法，将金属靶材放在真空室靶台上，在本底真空度为1.0×10<Sup>‑5</Su...
操振华孙超魏明真马玉洁王耿洁蔡云鹏孟祥康
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