闫宁宁
- 作品数:5 被引量:4H指数:1
- 供职机构:中国建筑材料科学研究总院更多>>
- 发文基金:国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域:一般工业技术理学化学工程更多>>
- 氧化铟锡透明热镜减反膜系光学设计与制备
- 根据太阳光波段(300-2500nm)光谱能量分布特点与ITO膜光学常数随波长的变化,采用TFCalc光学设计软件进行ITO透明热镜太阳光谱全波段光学减反设计。采用(反应)磁控溅射方法制备了SiO/ITO/AlO减反膜系...
- 刘静王敬敏闫宁宁汪洪
- 文献传递
- 氧分压对室温制备掺铝氧化锌薄膜性能的影响被引量:3
- 2013年
- 室温下,采用脉冲直流反应磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了掺铝的氧化锌(ZnO:Al,AZO)透明导电薄膜。采用配有λ-sensor氧分压传感器的控制器闭环控制氧分压,研究了氧分压对薄膜结构、表面形貌和光电性能的影响。结果表明:在不同的氧分压下制备的AZO薄膜均为多晶纤锌矿结构,具有[002]择优取向,其晶体呈柱状生长,晶粒之间结合紧密。氧分压为3.36×10–2Pa时,AZO薄膜的性能指数最高,其电阻率为1.15×10–3·cm,相应的载流子浓度为2.1×1020/cm3,载流子迁移率为25.8cm2/(V s),可见光透射率为79.1%。随着AZO薄膜的载流子浓度由1.03×1020cm–3增加到3.64×1020cm–3,薄膜禁带宽度由3.49eV增大到3.72eV。
- 闫宁宁汪洪刘静左岩
- 关键词:反应磁控溅射氧分压透明导电薄膜
- 低成本AZO薄膜的制备与表征
- 本论文在室温条件下,采用脉冲直流电源反应磁控溅射镀膜方法在玻璃衬底上沉积掺铝的氧化锌(ZnO:Al, AZO)透明导电薄膜。采用Speedflo闭环控制氧分压,系统研究了氧分压、ZnO种子层、大气退火等工艺条件对薄膜结构...
- 闫宁宁
- 关键词:AZO薄膜反应溅射氧分压
- 文献传递
- 高通量筛选固态无机电致变色材料的电致变色器件及其制备方法
- 本发明公开了一种高通量筛选固态无机电致变色材料的电致变色器件及其制备方法,解决了不能准确筛选出最优电致变色材料的问题。本发明的电致变色器件包括基板、下透明导电层和其上的多个电致变色器件单元;多个单元分为至少两组,每个单元...
- 孟政闫宁宁刘静汪洪
- 文献传递
- 高通量筛选固态无机电致变色材料的电致变色器件及其制备方法
- 本发明公开了一种高通量筛选固态无机电致变色材料的电致变色器件及其制备方法,解决了不能准确筛选出最优电致变色材料的问题。本发明的电致变色器件包括基板、下透明导电层和其上的多个电致变色器件单元;多个单元分为至少两组,每个单元...
- 孟政闫宁宁刘静汪洪
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