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高颖

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇真空
  • 1篇提纯

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇马玉通
  • 1篇栾国旗
  • 1篇张殿朝
  • 1篇闫萍
  • 1篇高颖

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多晶硅真空区熔提纯技术研究被引量：5
2010年
对真空单晶用多晶硅真空区熔提纯技术进行了分析,通过理论实践相结合,对真空区熔提纯过程中的提纯速率、熔区长度、提纯次数以及其它工艺参数进行了分析,制定了获得目标电阻率、型号、直径的有效区熔提纯工艺。
栾国旗张殿朝闫萍高颖马玉通
关键词：多晶硅提纯
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