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李时俊

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：电子工业部更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇离子注入
  • 1篇砷化镓
  • 1篇强流离子注入...
  • 1篇注入机
  • 1篇离子注入机
  • 1篇离子注入技术
  • 1篇金属
  • 1篇金属材料
  • 1篇改性
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体器件
  • 1篇材料改性
  • 1篇掺杂

机构

  • 1篇电子工业部
  • 1篇电子部

作者

  • 2篇李时俊
  • 1篇刘湘德
  • 1篇张伟
  • 1篇王学思
  • 1篇尹田华

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2000
  • 1篇1995
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
金属材料改性的离子注入技术被引量：3
1995年
本文概述了金属离子注入技术的特点，并就国内外的应用情况，介绍了离子注入后，金属材料耐磨性、抗蚀性显著改善的研究。着重对金属离子注入机的要求和发展方向作了简要介绍。
李时俊
关键词：金属材料改性离子注入半导体器件掺杂
LC-11型砷化镓专用强流离子注入机
刘湘德李时俊尹田华王学思张伟
LC-11型砷化镓专用强流离子注入机是电子工业部第四十八研究所于1996年研制成功的新型离子注入机。该机于1998年元月通过部级鉴定，是我国自行研制成功的第一台真正实用的强流离子注入机。其主要技术指标达到国外先进国家同类...
关键词：
关键词：离子注入机砷化镓
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共1页<1>
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