于中尧
- 作品数：20 被引量：68H指数：5
- 供职机构：生物芯片北京国家工程研究中心更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程生物学更多>>
- 低应力超厚氮硅化合物薄膜沉积方法
- 一种低应力超厚氮硅化合物薄膜沉积方法。源为氩气稀释的SiH<Sub>4</Sub>，浓度为1-30%；硅烷的流量为1.5-6L/min；氨气的流量为0.01-0.2L/min；生长温度为750℃-1000℃；硅烷和氨气的...
- 于中尧
- 文献传递
- Si基膜片型气敏传感器微结构单元的热学性能被引量：9
- 2002年
- 微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化和易批量生产等优点而受到国内外研究者的广泛关注。利用微机电系统 (MEMS)加工技术 ,制备Si基膜片型微结构单元 ,并分析其热学性能。这种单元工作区温度为～ 30 0℃时 ,加热功率约75mW ;并且膜片工作区的热质量很小 ,温度可以于毫秒量级的时间内 ,在室温和4 50℃之间调制。利用这种微结构单元 ,可以在温度调制方式下 。
- 高晓光李建平何秀丽于中尧王利
- 关键词：气敏传感器微机电系统热学性能
- 具有多层复合结构微热盘的PCR扩增器
- 具有多层复合结构微热盘的PCR扩增器，包括电极金属压焊点(1、1a)、氮化硅薄膜(2)、多晶硅加热电阻(3)、测温电阻(4)、二氧化硅层(5)、进样孔(6)、玻璃盖板(7)、排气孔(8)、硅衬底(9)、微槽(10)、微反...
- 于中尧崔大付赵湛
- 文献传递
- DNA－PCR生物芯片及使用该芯片的微型热循环器
- DNA－PCR生物芯片及微型热循环器主要由两大部分组成。一部分是由MEMS工艺在硅片上制作的微井式反应室、集成铂电阻加热子和温度传感器于一体,并且封装在PCB板上构成的生物芯片;另一部分是由前级信号处理电路,单片机,显示...
- 赵湛崔大付于中尧王利
- 文献传递
- 具有多层复合结构微热盘的PCR扩增器
- 具有多层复合结构微热盘的PCR扩增器，包括电极金属压焊点(1、1a)、氮化硅薄膜(2)、多晶硅加热电阻(3)、测温电阻(4)、二氧化硅层(5)、进样孔(6)、玻璃盖板(7)、排气孔(8)、硅衬底(9)、微槽(10)、微反...
- 于中尧崔大付赵湛
- 文献传递
- 微型硅谐振式压力传感器研制
- 作者利用微电子机械加工技术成功地研制出电热激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器。传感器的谐振器的品质因数Q值在真空中大于10000。采用闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性,压力测试范围0～400kPa,线性相...
- 陈德勇崔大付王利于中尧韩泾鸿
- 关键词：谐振式压力传感器
- 文献传递
- 微机械SiN梁非线性振动特性研究
- 利用MEMS技术研制了用于高精度谐振式压力传感器的SiN梁谐振器.器件采用电热激动、压阻拾振方式.本文阐述了SiN谐振器的结构、制作工艺,并通过开环频扫方法测定了SiN梁的线性及非线性振动频响特性.低真空下谐振器Q值接近...
- 陈德勇崔大付王利于中尧
- 关键词：谐振器微电子机械系统
- 文献传递
- 新型全SiN<Sub>x</Sub>微结构谐振梁压力传感器
- 一种新型全SiN<Sub>x</Sub>微结构谐振梁压力传感器，包括谐振梁(10)、谐振梁上的金属电极(11)和激振电阻(13)、硅衬底(15)，SiN<Sub>x</Sub>压力敏感膜(17)位于硅衬底(15)上部，谐...
- 于中尧崔大付
- 文献传递
- 有限元方法在微结构气敏传感器设计中的应用
- 微结构气敏传感器是利用微电子、微机械和薄膜等技术制作的新一代气敏元件。该文报道有限元方法在膜片型微结构气敏传感器设计中的应用。结果表明，有限元方法可用于模拟膜片上的温度分布和器件功耗，对器件结构设计有很好的指导作用。
- 高晓光李建平于中尧
- 关键词：气敏传感器有限元方法气敏元件
- 文献传递
- 微型硅谐振式压力传感器的研制被引量：10
- 2001年
- 利用微电子机械加工技术成功地研制出电热激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器。传感器的谐振器的品质因素Q值在真空中大于 10 0 0 0。采用特殊闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ,压力测试范围 0～ 40 0kPa ,线性相关系数 0 .9999,测试精度优于 0 .1%FS。
- 陈德勇崔大付王利于中尧韩泾鸿
- 关键词：压力传感器
