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吴亚林

作品数：2 被引量：7H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇等离子体刻蚀
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式
  • 1篇原子扩散
  • 1篇直接键合
  • 1篇微加速度计
  • 1篇刻蚀
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇键合
  • 1篇硅微加速度计
  • 1篇MEMS

机构

  • 2篇中国电子科技...
  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 2篇王伟
  • 2篇吴亚林
  • 1篇张精华
  • 1篇田雷
  • 1篇迟晓珠
  • 1篇曹永海
  • 1篇史鑫
  • 1篇侯占民
  • 1篇王世宁

传媒

  • 1篇传感器技术
  • 1篇中国电子科学...

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2003
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
压阻式硅微加速度计的研制被引量：4
2003年
介绍压阻式硅微加速度计的结构设计。采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计。该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点,适用于微机械器件的制作。通过测试,加速度计的非线性达到0.2%。讨论了影响加速度计灵敏度的结构因素和工艺因素。
张精华田雷迟晓珠王伟侯占民吴亚林
关键词：压阻式硅微加速度计等离子体刻蚀MEMS
基于原子扩散的蓝宝石芯片键合技术研究被引量：3
2016年
本文基于原子扩散理论模型,试图介绍一种蓝宝石芯片直接键合技术,给出一定扩散距离下键合温度与键合时间的关系;开展了蓝宝石芯片键合的试验研究;初步制作了键合样品。经测试,键合强度达到0.5 MPa,验证了蓝宝石芯片直接键合的可行性。
吴亚林王世宁曹永海王伟史鑫
关键词：原子扩散直接键合
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共1页<1>
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