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李成敏

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇单光子
  • 2篇圆片
  • 2篇帧频
  • 2篇探测器
  • 2篇装载
  • 2篇装载装置
  • 2篇卸载
  • 2篇晶圆
  • 2篇晶圆片
  • 2篇高帧频
  • 2篇光电
  • 2篇光电成像
  • 2篇光电阴极
  • 2篇光子
  • 2篇硅基
  • 2篇成像探测器
  • 1篇导轨
  • 1篇底板
  • 1篇限位
  • 1篇硅基底

机构

  • 4篇中国科学院微...
  • 2篇北京智朗芯光...

作者

  • 4篇李成敏
  • 2篇严冬
  • 2篇刘健鹏
  • 2篇刘涛

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2014
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种晶圆片辅助装载装置
本发明公开了一种晶圆片辅助装载装置，属于样品装载与卸载的装置技术领域。该装载装置包括升降机构、晶圆片台、至少两个移动轴、限位板、两根限位导轨和底板。该装载装置能够借助升降机构与移动轴、限位板、两根限位导轨和底板之间的相互...
吴文镜李成敏
文献传递
一种单光子成像探测器及其制造方法
本发明涉及光电成像探测技术领域，尤其涉及一种单光子成像探测器及其制造方法。所述制造方法，包括如下步骤：制备硅基底微通道板，所述硅基底微通道板上设有微通孔阵列；制备CMOS成像传感器阵列；在封装设备中制备和测试光电阴极，并...
李成敏严冬刘健鹏刘涛
文献传递
一种晶圆片辅助装载装置
本发明公开了一种晶圆片辅助装载装置，属于样品装载与卸载的装置技术领域。该装载装置包括升降机构、晶圆片台、至少两个移动轴、限位板、两根限位导轨和底板。该装载装置能够借助升降机构与移动轴、限位板、两根限位导轨和底板之间的相互...
吴文镜李成敏
文献传递
一种单光子成像探测器及其制造方法
本发明涉及光电成像探测技术领域，尤其涉及一种单光子成像探测器及其制造方法。所述制造方法，包括如下步骤：制备硅基底微通道板，所述硅基底微通道板上设有微通孔阵列；制备CMOS成像传感器阵列；在封装设备中制备和测试光电阴极，并...
李成敏严冬刘健鹏刘涛
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