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李然
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
供职机构:
中国空间技术研究院
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相关领域:
一般工业技术
化学工程
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合作作者
范斌
中国空间技术研究院
王增福
中国空间技术研究院
张再鸣
中国空间技术研究院
陈步亮
中国空间技术研究院
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机构
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中国空间技术...
作者
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陈步亮
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张再鸣
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王增福
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李然
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范斌
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真空
年份
1篇
2002
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多层复合真空离子镀膜技术的新发展
被引量:7
2002年
本文回顾了多弧——磁控溅射多功能离子镀膜设备的结构和功能 ,并且对该设备在氮化钛掺金离子镀 (IPG)方面的典型应用 ,做了较为详细的膜层性能分析。同时 ,本文又对近年来一种新型的多功能离子镀设备——复合式离子镀膜设备的结构及特点做了介绍 ,给出了该类型设备的典型应用场合 ,并且向读者介绍了使用该设备镀制的金属 /金属陶瓷多层膜的优异性能。
王增福
陈步亮
范斌
张再鸣
李然
关键词:
离子镀
磁控溅射
镀膜设备
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