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张艳敏

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：温州大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇应力
  • 2篇应力影响
  • 2篇芯片
  • 2篇传感器芯片
  • 1篇压力传感器
  • 1篇杨氏模量
  • 1篇内应力
  • 1篇热应力
  • 1篇网格
  • 1篇网格划分
  • 1篇物联网
  • 1篇力传感器
  • 1篇力值
  • 1篇联网
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米材料
  • 1篇挠度

机构

  • 3篇温州大学

作者

  • 3篇郑蓓蓉
  • 3篇王权
  • 3篇薛伟
  • 3篇张艳敏
  • 1篇张淼
  • 1篇周晨
  • 1篇廖宁波
  • 1篇陶晓东
  • 1篇张健

年份

  • 2篇2017
  • 1篇2015
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种内应力影响下压力传感器非线性判别方法
本发明提供了一种内应力影响下压力传感器非线性判别方法，首先，测量压力传感器芯片结构层薄膜的杨氏模量、初始内应力值；利用ANSYS软件使用Solid 186单元类型，创建压力传感器芯片结构模型，完成几何建模和定义材料参数后...
郑蓓蓉王权张艳敏薛伟
文献传递
用于物联网的新型硅纳米材料高灵敏压力传感器研究
郑蓓蓉薛伟王权张淼周晨廖宁波张艳敏张健陶晓东
该成果研发用于物联网的高灵敏度压力传感器，完成传感器的理论设计和生产制造，提出采用与CMOS工艺兼容的表面微机械加工工艺，以新型硅纳米薄膜材料作为敏感材料，单面加工工艺，大批量制造高灵敏度压力传感器。研发内容包括：分别用...
关键词：
关键词：压力传感器
一种内应力影响下压力传感器非线性判别方法
本发明提供了一种内应力影响下压力传感器非线性判别方法，首先，测量压力传感器芯片结构层薄膜的杨氏模量、初始内应力值；利用ANSYS软件使用Solid 186单元类型，创建压力传感器芯片结构模型，完成几何建模和定义材料参数后...
郑蓓蓉王权张艳敏薛伟
文献传递
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