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张志诚
作品数:
5
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供职机构:
首尔大学
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4篇
光刻系统
4篇
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1篇
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1篇
烷氧基
1篇
聚合物微粒
1篇
基团
1篇
二氧化硅
机构
5篇
首尔大学
作者
5篇
张志诚
年份
1篇
2017
3篇
2015
1篇
2012
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基于图像处理的光刻系统和目标对象涂覆方法
本发明公开了一种基于图像处理的光刻系统和目标对象涂覆方法。根据本发明的一个实施方式,光刻系统包括:布置在基板上的至少一个目标对象;通过对至少一个目标对象执行图像处理来确定用于至少一个目标对象的涂覆层的光学图案的处理器;以...
劝圣勋
郑收恩
李昇娥
张志诚
韩相权
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编码的聚合物微粒
本发明提供了以下技术方案:编码的聚合物微粒,其包括编码的聚合物微粒芯和包围所述微粒芯的二氧化硅壳;以及使用所述聚合物微粒的多重生物分析法。另外,本发明还提供了编码的聚合物微粒的制备方法,其包括以下步骤:提供辐射可固化材料...
权圣勋
金美罗
张志诚
裵亨钟
金娜悧
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基于图像处理的光刻系统和目标对象涂覆方法
公开了一种基于图像处理的光刻系统和目标对象涂覆方法。根据本发明的一个实施方式,光刻系统包括:布置在基板上的至少一个目标对象;通过对至少一个目标对象执行图像处理来确定用于至少一个目标对象的涂覆层的光学图案的处理器;以及将具...
劝圣勋
郑收恩
李昇娥
张志诚
韩相权
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基于图像处理的光刻系统和目标对象涂覆方法
公开了一种用于光刻系统的技术。根据本发明的一个实施方式,光刻系统包括:布置在基板上的至少一个目标对象;通过对至少一个目标对象执行图像处理来确定用于至少一个目标对象的涂覆层的光学图案的处理器;以及将具有由处理器确定的光学图...
劝圣勋
郑收恩
李昇娥
张志诚
韩相权
文献传递
基于图像处理的光刻系统和目标对象涂覆方法
公开了一种用于光刻系统的技术。根据本发明的一个实施方式,光刻系统包括:布置在基板上的至少一个目标对象;通过对至少一个目标对象执行图像处理来确定用于至少一个目标对象的涂覆层的光学图案的处理器;以及将具有由处理器确定的光学图...
劝圣勋
郑收恩
李昇娥
张志诚
韩相权
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