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文献类型

  • 1篇中文标准

主题

  • 1篇电路
  • 1篇电源
  • 1篇信号
  • 1篇信号处理
  • 1篇通信
  • 1篇通信设备
  • 1篇控制装置
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇清华大学
  • 1篇上海交通大学
  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇中北大学
  • 1篇中机生产力促...

作者

  • 1篇崔波
  • 1篇丁红宇
  • 1篇刘伟
  • 1篇张苹
  • 1篇杨拥军

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
微机电系统(MEMS)技术 术语
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。 本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
丁红宇刘伟张苹崔波杨拥军叶雄英陈迪石云波
关键词:传感器控制装置信号处理电路通信设备电源
文献传递
共1页<1>
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