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李占柱
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1
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供职机构:
南开大学
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
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合作作者
白鹤翔
南开大学
梁翠果
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梁翠果
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真空
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1篇
1991
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用Monte-Carlo法对制备Y_1Ba_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜过程的模拟
1991年
本文利用蒙特卡洛方法对Y1Bα2Cu3O7-δ超导薄膜制备过程中, Y、Ba、Cu的溅射和沉积过程进行了模拟,得到了按各种角分布溅出的Y、Ba、Cu三种原子的沉积粒子数随R,z的变化规律,并通过计算结果与实验结果的比较初步确定了Y、Ba、Cu三种原子在被溅出时的角分布。
韩瑞雪
李占柱
梁翠果
白鹤翔
关键词:
超导薄膜
溅射
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