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张景宝
作品数:
3
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供职机构:
哈尔滨工业大学
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相关领域:
金属学及工艺
一般工业技术
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合作作者
王洋
哈尔滨工业大学航天学院复合材料...
孙跃
哈尔滨工业大学航天学院复合材料...
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作者
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张景宝
1篇
孙跃
1篇
王洋
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中国材料科技...
年份
3篇
2006
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TPS外表层ZrO/_2功能涂层的EB-PVD工艺方法研究
本文采用物理气相沉积法在不锈钢基体上制备了氧化钇部分稳定氧化锆陶瓷涂层。利用X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪/(XPS/)对涂层的相结构及涂层的化学成分进行了分析和讨论;利用扫描电子显微镜/(SEM/)和原子力显微镜/(...
张景宝
关键词:
电子束物理气相沉积
氧化锆涂层
热震
发射率
文献传递
离子注入对复合沉积ZrO2薄膜的组织结构影响规律分析
2006年
本文采用真空阴极弧离子镀与等离子体基离子注入相结合的复合沉积技术,以硅片为基底制备了ZrO2薄膜。利用GIXRD、AFM和TEM研究了氧离子注入时间对薄膜的相结构、表面形貌影响规律。结果表明,氧离子注入时间对ZrO2薄膜的微观组织结构有显著的影响;适宜的工艺参数可以获得m(111)择优取向;相对于其它方法所制备的ZrO2薄膜,本文所制备的ZrO2薄膜具有较低的粗糙度值。
孙跃
张景宝
王洋
关键词:
离子注入
ZRO2
显微组织
TPS外表层ZrO<sub>2</sub>功能涂层的EB-PVD工艺方法研究
本文采用物理气相沉积法在不锈钢基体上制备了氧化钇部分稳定氧化锆陶瓷涂层。利用X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪(XPS)对涂层的相结构及涂层的化学成分进行了分析和讨论;利用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分...
张景宝
关键词:
电子束物理气相沉积
氧化锆涂层
热震
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