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吕鹏

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院电气工程系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇Z箍缩
  • 1篇等离子
  • 1篇等离子体
  • 1篇脉冲
  • 1篇脉冲电源
  • 1篇脉冲压缩
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻技术
  • 1篇放电等离子体
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体制造
  • 1篇磁脉冲压缩

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...
  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 2篇张潮海
  • 2篇吕鹏
  • 1篇贾兴
  • 1篇刘春芳
  • 1篇王骐
  • 1篇赵永蓬

传媒

  • 1篇强激光与粒子...
  • 1篇2007中国...

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源被引量：3
2010年
描述了Z箍缩放电等离子体极紫外光源系统中的主脉冲电源,给出了主电路拓扑结构,重点介绍了三级磁脉冲压缩网络,给出了关键参数的设计计算,并且介绍了新颖的末级磁脉冲压缩放电结构。实验结果显示:各级磁脉冲压缩效果达到设计指标,电源输出电压峰达30 kV,输出电流峰值大于40 kA,电流脉冲宽度200 ns,满足Z箍缩放电等离子极紫外光源对主脉冲的要求。
吕鹏刘春芳张潮海赵永蓬王骐贾兴
关键词：Z箍缩放电等离子体磁脉冲压缩
应用于半导体制造的Z-PINCH等离子体EUV光源
等离子体极紫外（EUV）光源被公认为是最有前途的EUV光源，针对它的研究已经在全世界范围内展开了激烈的竞争。在实现极紫外光刻（EUVL）技术的过程中，应予以最优先考虑的问题是如何提高EUV光的输出功率。在Z箍缩等离子体E...
吕鹏张潮海程元丽H.Akiyama
关键词：Z箍缩光刻技术半导体
文献传递
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