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王志坚

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：上海大学机电工程与自动化学院更多>>
发文基金：山东省教育厅高校科研发展计划项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米ZNO
  • 1篇晶体
  • 1篇晶体结构
  • 1篇溅射
  • 1篇光致
  • 1篇光致发光
  • 1篇发光
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体材料
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇济宁医学院
  • 1篇上海理工大学
  • 1篇上海大学

作者

  • 1篇潘志峰
  • 1篇袁一方
  • 1篇王志坚

传媒

  • 1篇曲阜师范大学...

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
氧对纳米ZnO薄膜晶体结构和光致发光的影响被引量：3
2004年
ZnO是一种直接带半导体材料,在光电领域中和GaN一样受到关注.ZnO不仅有与GaN相似的晶体结构,而且它的激子结合能高达60meV,是GaN的2.4倍.采用射频(RF)磁控溅射法在n-Si(001)衬底上生长ZnO薄膜,XRD谱测量显示出氧压对ZnO薄膜的晶体结构有显著影响.用波长为325nm的激光激发,观察到在445nm处有一强的光致发光峰,它来自于氧空位浅施主能级上的电子跃迁到价带,分析了发光峰与氧压的关系以及退火对它的影响.
潘志峰袁一方王志坚
关键词：ZNO薄膜射频磁控溅射光致发光半导体材料晶体结构
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