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谢宜臣
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
佳木斯大学理学院物理系
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相关领域:
理学
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合作作者
高玮
佳木斯大学理学院物理系
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高玮
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谢宜臣
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佳木斯大学学...
年份
1篇
2001
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四探针测半导体材料杂质分布
被引量:3
2001年
设计一个新的近代物理实验题目 .利用阳极氧化法对半导体材料逐次去层 ,采用四探针法测量其每层的电阻率及相应杂质浓度 ,可得出半导体材料的杂质分布 N (x) .实验设备简单 ,测量方便 ,结果准确 .并提供了自制四探针测量仪的方法 .
高玮
谢宜臣
关键词:
四探针
半导体材料
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