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宋亮
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国兵器工业集团
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相关领域:
电子电信
文化科学
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合作作者
王珊珊
西安工业大学北方信息工程学院
刘欢
西安工业大学光电工程学院陕西省...
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2篇
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等离子刻蚀
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实践教学
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微桥结构
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牺牲层
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离子刻蚀
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作者
2篇
刘欢
2篇
王珊珊
2篇
宋亮
传媒
1篇
科技资讯
1篇
陕西教育(高...
年份
2篇
2008
共
2
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加强高校实践教学改革的研究与探讨
被引量:1
2008年
实践教学不但培养学生动手能力和分析问题、解决问题的能力,而且直接影响学生的世界观和思维方法,它是培养学生动手能力和创新精神的重要途径。本文就如何更好的改革实践教学,进一步提高学生的动手能力展开讨论,提出了若干行之有效的方法。
刘欢
王珊珊
宋亮
关键词:
实践教学
教学模式
基于非晶硅的红外焦平面阵列微桥结构的研究
被引量:2
2008年
近年来,集成非制冷红外焦平面阵列技术的发展和应用成为国内外研究的热点。本文从红外材料的确定,探测结构的选择入手,通过大量的流片实验,对基于非晶硅的非制冷红外探测微桥结构制作工艺进行了系统的研究,得到一套合适的工艺参数,并成功制作出160×120规模的微桥结构阵列。
刘欢
王珊珊
宋亮
关键词:
光刻
等离子刻蚀
牺牲层
非晶硅
微桥结构
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