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陈晓原
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
香港理工大学
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发文基金:
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2003
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椭偏光谱法研究激光脉冲沉积MgO薄膜材料生长
被引量:3
2003年
用激光脉冲沉积技术生长、制备出了一系列不同真空度、不同衬底温度和不同激光脉冲能量的MgO薄膜.对生长、制备出的一系列MgO薄膜进行了椭偏光谱测量研究,在300~800nm光谱波长范围内,得到了不同条件下生长制备的MgO薄膜的光学常数谱和膜厚,其结果显示:真空度、衬底温度和激光脉冲能量对生长MgO薄膜的折射率、膜厚均有影响,高真空、高衬底温度和适中的激光脉冲能量有利于生长制备高折射率、高密度和高质量的MgO薄膜.
张曰理
莫党
陈晓原
MAKChee-leng
WONGKin-hung
CHOYChung-loong
关键词:
光学常数
膜厚
薄膜生长
铁电薄膜
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