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刘泽文
作品数:
2
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供职机构:
北京交通大学
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合作作者
邓涛
北京交通大学
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机构
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2篇
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1篇
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机构
2篇
北京交通大学
作者
2篇
邓涛
2篇
刘泽文
年份
2篇
2016
共
2
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一种基于SU‑8应力层的自组装石墨烯场效应管型生化传感器
本发明公开一种基于SU‑8应力层的自组装石墨烯场效应管型生化传感器,包括,单晶硅衬底;石墨烯层;设置在所述石墨烯层上的介电层;一部分设置在所述单晶硅衬底上,另一部分设置在所述石墨烯层上的漏电极和源电极;一部分设置在所述单...
邓涛
张兆浩
刘泽文
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一种自组装石墨烯场效应管型生化传感器制造方法
本发明公开一种自组装石墨烯场效应管型生化传感器制造方法,该方法包括如下步骤:制备单晶硅衬底;在所述单晶硅衬底的上制作牺牲层;在所述牺牲层上制作石墨烯层;在所述石墨烯层上制作介电层;在所述介电层和单晶硅衬底上制作栅电极,在...
邓涛
张兆浩
刘泽文
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