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刘泽文

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:北京交通大学更多>>

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇电极
  • 2篇生化传感器
  • 2篇石墨
  • 2篇石墨烯
  • 2篇自组装
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇应力
  • 1篇栅电极
  • 1篇牺牲层
  • 1篇场效应

机构

  • 2篇北京交通大学

作者

  • 2篇邓涛
  • 2篇刘泽文

年份

  • 2篇2016
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种基于SU‑8应力层的自组装石墨烯场效应管型生化传感器
本发明公开一种基于SU‑8应力层的自组装石墨烯场效应管型生化传感器,包括,单晶硅衬底;石墨烯层;设置在所述石墨烯层上的介电层;一部分设置在所述单晶硅衬底上,另一部分设置在所述石墨烯层上的漏电极和源电极;一部分设置在所述单...
邓涛张兆浩刘泽文
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一种自组装石墨烯场效应管型生化传感器制造方法
本发明公开一种自组装石墨烯场效应管型生化传感器制造方法,该方法包括如下步骤:制备单晶硅衬底;在所述单晶硅衬底的上制作牺牲层;在所述牺牲层上制作石墨烯层;在所述石墨烯层上制作介电层;在所述介电层和单晶硅衬底上制作栅电极,在...
邓涛张兆浩刘泽文
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共1页<1>
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