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史会芳
作品数:
3
被引量:9
H指数:1
供职机构:
西安电子科技大学技术物理学院
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
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合作作者
李慧
西安电子科技大学技术物理学院
李培咸
西安电子科技大学技术物理学院
赵广才
西安电子科技大学技术物理学院
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ALN缓冲层
1篇
AL组分
1篇
LED外延片
1篇
表面粗化
1篇
表面形貌
机构
3篇
西安电子科技...
作者
3篇
史会芳
2篇
李培咸
2篇
李慧
1篇
赵广才
传媒
2篇
电子科技
年份
3篇
2010
共
3
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AlN缓冲层对AlGaN表面形貌的影响
被引量:1
2010年
使用扫描电子显微镜、高分辨率X射线衍射、Raman散射、原子力显微镜、透射电镜等测试手段,对高铝组分的AlGaN样品表面形貌的形成原因进行研究。结果表明,AlN缓冲层的晶体质量,对后续外延层的结晶质量具有重要的影响,这也解释了AlGaN表面形貌的形成。
史会芳
李培咸
李慧
关键词:
表面形貌
ALGAN
ALN缓冲层
高Al组分AlGaN外延膜的测试与表征
高质量的高Al组分AlGaN材料是制备短波长发光二极管、激光器以及光电探测器等光电器件的重要材料,通过测试手段对材料进行表征从而为使用MOCVD方法制备高质量的外延材料提供依据就显得至为重要。 本文针对不同样品的特...
史会芳
关键词:
外延膜
卢瑟福背散射
原子力显微镜
文献传递
表面粗化提高绿光LED的光提取效率
被引量:7
2010年
介绍了通过出光表面粗化减少全反射的方法。理论计算了以腐蚀坑为三角坑的最优尺寸。实验使用熔融KOH腐蚀绿光LED外延片获得预计的粗糙形貌,再通过常规工艺制成器件,结果给出不同表面做成器件的光强。实验证明经过表面粗化处理的器件,外量子效率提高了约25.7%。
李慧
李培咸
史会芳
赵广才
关键词:
LED外延片
表面粗化
外量子效率
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