高岩
- 作品数：7 被引量：24H指数：4
- 供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术化学工程更多>>
- 高纯Ag变形及退火后的微观组织被引量：5
- 2012年
- 研究了压缩变形及退火热处理对高纯Ag(99.99%)微观组织的影响。结果表明,高纯Ag铸锭模锻后,经570℃×2 h退火可消除铸态组织,屈服强度约为66 MPa,随应变的增加应力明显增加;然后经道次变形量20%,总变形量85%的变形,退火温度为360℃时间为1.5 h,高纯Ag坯料的微观组织均匀,符合制备靶材的基本要求。
- 董亭义万小勇罗俊锋高岩王欣平
- 关键词：退火
- 高纯铝与铜爆炸焊接性能分析被引量：5
- 2014年
- 使用爆炸焊接对高纯铝与铜坯料进行连接,将超声C-scan应用于爆炸焊接复合板坯的无损探伤,并从坯料微观组织和力学性能等方面分析了焊接性能。结果表明,C-scan能够在不破坏板坯的情况下,全面快速检测爆炸焊合率;焊接完成后,铝板坯晶粒间有条状应力带,热处理后应力带消失且晶粒未异常长大。爆炸焊接能实现高纯铝与铜的高强度焊接,焊接强度约43MPa。
- 陈明万小勇董亭义何金江高岩吕保国
- 关键词：高纯铝爆炸焊
- 无损检测在溅射靶材制造中的应用被引量：1
- 2012年
- 作为关键原材料之一,电子信息产业对溅射靶材质量要求非常严格。无损检测对于确保溅射靶材质量具有重要意义。溅射靶材生产过程中应用的无损检测技术主要是X射线技术和超声波技术。无损检测工序的安排需要合理并兼顾生产效率。检测项目主要是原材料与靶材板坯内部缺陷检验和焊接质量检验。应用的超声检测技术主要是超声纵波脉冲反射C扫描技术,而且靶材制造的检验验收标准极为严格。
- 刘红宾刘伟陈明尚再艳高岩何金江王欣平吕保国江轩
- 关键词：电子信息溅射靶材无损检测超声波检验
- 一种集成电路用磷铜阳极的制备方法
- 本发明公开了一种集成电路用磷铜阳极的制备方法，采用高纯度石墨作为坩埚和模具材料，在高真空中频感应熔炼炉中熔化纯度为99.99％及以上的高纯铜铸锭，在1150～1300℃中加入含磷6～16wt.％的磷铜中间合金，加入磷铜中...
- 高岩王欣平何金江刘书芹熊晓东
- 集成电路用磷铜阳极及相关问题研究被引量：6
- 2011年
- 随着半导体技术的发展,铜互联技术在集成电路的设计和制造中成为主流技术,铜互连采用双大马士革工艺(Dual Damascene)进行电镀。集成电路用磷铜阳极在电镀过程中起着至关重要的作用,本文系统分析了磷铜阳极中磷的含量、铜的纯度、晶粒尺寸和氧含量等对集成电路电镀性能的影响。
- 高岩王欣平何金江刘宏宾江轩蒋宇辉
- 关键词：集成电路电镀磷铜阳极
- 集成电路互连线用高纯铜靶材及相关问题研究被引量：7
- 2011年
- 随着半导体技术的发展,芯片特征尺寸缩小到深亚微米和纳米时,铜互连技术在集成电路的设计和制造中成为主流技术,从而对高纯铜靶材的要求越来越高。从靶材制造的角度利用材料学的知识对铜靶材的晶体结构、纯度、致密度、微观组织及焊接性能等方面作了分析,并且较全面地分析了可能影响靶材溅射性能的很多关键因素,从而为靶材供应商和集成电路制造商对于铜靶材的了解搭建了桥梁,为进一步开发超大尺寸的高纯铜靶材打下基础。
- 高岩王欣平何金江董亭义蒋宇辉江轩
- 关键词：互连线溅射
- 一种溅射靶材
- 本实用新型公开了属于溅射靶材技术领域的一种溅射靶材。所述背板具有一凹槽，该凹槽为圆柱形凹槽或者为直径向内侧逐渐减小的阶梯式凹槽，该凹槽用以容纳靶坯的嵌入，所述靶坯具有一凸起，该凸起为圆柱形凸起或者为直径向内侧逐渐减小的阶...
- 高岩何金江郭力山曾浩
- 文献传递
