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赵瑞东
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
山东师范大学物理与电子科学学院
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发文基金:
山东省自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
黄珍献
天津商业大学理学院
孙平
山东师范大学物理与电子科学学院
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孙平
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黄珍献
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赵瑞东
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激光与光电子...
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1篇
2011
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利用变形和形貌的关系测量三维形貌的方法
被引量:2
2011年
提出了根据变形测量和形貌测量的关系测量物体三维形貌的方法。利用电子散斑干涉(ESPI)测量物体面形时,物体偏转微小角度会引入附加的物面高度差,从而引入载波条纹。分析了物面偏转角度和附加高度差之间的关系,得出了物面相位和物面高度之间的映射关系。物面的相位由傅里叶变换法求得。对球冠面形进行了测量,实验表明,在物面上产生干涉载波条纹,进而测量物面面形,具有灵敏度高的优点。
黄珍献
赵瑞东
孙平
关键词:
电子散斑干涉
面形测量
载波
傅里叶变换
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