袁振宇
- 作品数：5 被引量：12H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺更多>>
- NiTi形状记忆合金薄膜在MEMS中应用的相关基础研究
- NiYi形状记忆合金由于具有出色的形状记忆效应(SME)和超弹性(SE)效应而倍受人们关注.因其具有可恢复应变大、输出应力高、驱动电压低、生物相容性好等显著优点,NiTi薄膜已成为MEMS微驱动器中最具应用潜力的驱动方式...
- 袁振宇
- 关键词：形状记忆合金薄膜超弹性
- 形状记忆合金复合膜热触发器
- 一种形状记忆合金复合膜热触发器，用于微机械和电子控制器件领域。包括：形状记忆合金薄膜、硅偏置梁、硅固支框、触点、控制端口、间隔块、控制端口底座，其连接关系为：形状记忆合金薄膜沉积在硅偏置粱之上，硅偏置梁两端由硅固支框连接...
- 徐东刘毓舒蔡炳初袁振宇
- 文献传递
- 镍钛形状记忆合金薄膜超弹性性能的研究
- 研究了溅射法制备的薄膜超弹性特性.采用三种不同的方法:拉伸法,鼓气法,压痕法时薄膜的超弹性行为进行了测试,比较并讨论了三种研究方法的作用机制,从不同角度探讨了薄膜发生超弹性的条件及影响因素。
- 袁振宇徐东蔡炳初
- 关键词：形状记忆合金拉伸法压痕法溅射法
- 文献传递
- 溅射态原位加热NiTi形状记忆合金薄膜的结构性能研究被引量：2
- 2006年
- 研究了原位加热溅射的NiTi形状记忆合金薄膜的结构,讨论了制备工艺及织构对薄膜相变特征的影响,采用电阻法及X射线衍射分析了薄膜的结构及相变过程,确定了最适合于微器件的溅射工艺。结果发现:溅射时采用原位加热可直接获得具有织构的晶化薄膜,提高溅射功率将使薄膜的相变温度升高。
- 袁振宇徐东刘毓舒蔡炳初
- 关键词：织构微驱动器
- NiTi形状记忆合金薄膜的制备及形变特性被引量：9
- 2006年
- 研究了适用于微器件的溅射态N iTi形状记忆合金薄膜。讨论了溅射工艺及织构对薄膜结构和相变特征的影响。利用薄膜热相变特性制成了微驱动器,观察并分析了该器件的形变特性。结果表明:原位加热溅射可以获得具有织构的晶化薄膜;用该薄膜制备的驱动器回复率为0.76%。
- 袁振宇徐东刘毓舒蔡炳初
- 关键词：形状记忆合金织构微驱动器
