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涂程

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：电子科技大学电子工程学院更多>>
发文基金：国家部委资助项目更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇执行器
  • 1篇平板运动
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微执行器
  • 1篇机电系统
  • 1篇MEMS
  • 1篇串联反馈
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇电子科技大学

作者

  • 1篇鲍景富
  • 1篇伍文昌
  • 1篇杜亦佳
  • 1篇涂程

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS微执行器平板运动稳定性研究被引量：1
2011年
在MEMS静电执行器设计中,由于吸合效应的存在,导致微执行器调节范围受到限制。首先,对微执行器吸合效应产生的原因及其影响进行了分析与阐述。然后,针对吸合效应所带来的问题,给出了多种解决方法,以及与这些方法相关的技术进展。最后,对这些方法的性能及优缺点进行了总结。这些解决MEMS微执行器吸合效应的方法分为三种:利用反馈方法扩展执行器稳定范围;通过特殊的结构设计扩展执行器稳定范围;通过改变微执行器工作环境扩展执行器的稳定范围。通过对这三种方法的阐述,进一步加深了对吸合效应问题的理解,为今后的研究奠定了基础。
伍文昌鲍景富杜亦佳涂程
关键词：串联反馈
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共1页<1>
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