李世芳
- 作品数：8 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析被引量：3
- 2015年
- 目前影响高精度干涉仪测量精度的一个重要因素是系统的相干噪声,为了提高干涉检测精度,必须抑制系统的相干噪声。环形光源作为一种抑制相干噪声的有效手段已被广泛应用工程实践。本文利用Zemax干涉仪建模分析了环形光源不同环半径对干涉测量精度影响,并分析了在一定环半径下,随着干涉腔长的增加,对干涉测量结果的影响。仿真分析结果表明,随着环形光源环半径的增加,干涉测量结果的系统误差增大,在同一环半径下,随着干涉腔长的增加,干涉测量的系统误差增大。
- 徐燕吴永前李世芳万勇建侯溪
- 关键词：相干噪声误差分析
- 一种球面面形误差绝对检测方法
- 本发明公开了一种球面面形误差绝对检测方法，利用被测球面在共焦位置多次旋转和共心平移的测量数据，采用基于Zernike多项式拟合的旋转平移算法，构建关于被测球面和参考面Zernike多项式系数的方程系，运用最小二乘法解得Z...
- 宋伟红侯溪李世芳赵文川吴高峰徐燕毛洁吴永前万勇建
- 文献传递
- 一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法
- 本发明公开了一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法，首先在被测光学元件表面上选取多个特征标记点，当被测光学元件绕光轴作多次旋转和平移操作时，其待测面面形检测数据中的特征标记点会相对旋转中心产生旋转和平移；然后...
- 宋伟红侯溪伍凡李世芳吴永前万勇建
- 文献传递
- 一种光学元件自重变形量的测定方法
- 本发明公开一种光学元件自重变形量的测定方法，获取被测光学元件在全重力作用状态下的面形数据，标定干涉仪和标准镜组成的系统的误差；保持干涉仪的参数及位置不变，使被测光学元件没入不同深度的重液，获得被测光学元件的被测面在不同重...
- 顾伟伍凡侯溪万勇建李世芳宋伟红赵文川
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- 一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法
- 本发明公开了一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法，首先在被测光学元件表面上选取多个特征标记点，当被测光学元件绕光轴作多次旋转和平移操作时，其待测面面形检测数据中的特征标记点会相对旋转中心产生旋转和平移；然后...
- 宋伟红侯溪伍凡李世芳吴永前万勇建
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- 一种滤除干涉检测数据中随机噪声的滤波方法
- 本发明公开了一种滤除干涉检测数据中随机噪声的滤波方法，该方法以选取的数据点为中心点，采用多次函数对滤波窗口（滤波窗口大小可调）内的数据进行基于最小二乘法的多项式拟合（多次函数阶数可选），得到多项式系数，并以常数项系数作为...
- 宋伟红李世芳侯溪赵文川吴高峰徐燕毛洁吴永前万勇建
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- 一种光学元件自重变形量的测定方法
- 本发明公开一种光学元件自重变形量的测定方法，获取被测光学元件在全重力作用状态下的面形数据，标定干涉仪和标准镜组成的系统的误差；保持干涉仪的参数及位置不变，使被测光学元件没入不同深度的重液，获得被测光学元件的被测面在不同重...
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- 一种球面面形误差绝对检测方法
- 本发明公开了一种球面面形误差绝对检测方法，利用被测球面在共焦位置多次旋转和共心平移的测量数据，采用基于Zernike多项式拟合的旋转平移算法，构建关于被测球面和参考面Zernike多项式系数的方程系，运用最小二乘法解得Z...
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