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雷琳娜
作品数:
3
被引量:3
H指数:1
供职机构:
西安工业大学
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发文基金:
陕西省教育厅科研计划项目
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
自动化与计算机技术
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合作作者
袁建奇
西安工业大学光电工程学院陕西省...
弥谦
西安工业大学光电工程学院陕西省...
黄钉劲
西安工业大学光电工程学院
阮照军
西安工业大学光电工程学院
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主题
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磁约束
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等离子体
1篇
等离子体诊断
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有限元
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有限元模拟
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无线
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无线传输
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膜层
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膜层性能
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井口
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PDA
机构
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作者
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雷琳娜
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弥谦
1篇
阮照军
1篇
黄钉劲
1篇
袁建奇
传媒
2篇
西安工业大学...
年份
2篇
2010
1篇
2009
共
3
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磁约束磁控溅射源的工作特性测试
被引量:3
2010年
为了提高靶材利用率,将磁约束原理应用在磁控溅射技术中,设计了一款直流矩形平面磁控溅射源.测量了磁约束磁控溅射源原理样机靶面磁场强度,研究了不同工作真空度下的伏安特性以及磁控溅射电源工作在不同模式下靶电压与工作真空度之间的关系,确定了磁控溅射源正常工作时的最佳工艺参数,为磁约束磁控溅射源原理样机的结构改进提供依据.实验表明:磁控溅射靶稳定工作的电压范围是300-700V,靶电流可达到1.2A,最高工作真空度为2Pa.
弥谦
雷琳娜
袁建奇
关键词:
磁约束
便携式井口无线取压系统
2009年
在石油天然气的工作现场,用传统的机械式压力表测量井口的压力存在安全性差、精度低等缺点.采用了PHILIPS公司的STC89C58RD+的井口压力无线采集系统,介绍了系统压力变送器的选取,放大电路、A/D转换电路与时钟电路的设计,还有无线传输系统与便携式采集系统的工作原理及测试方法.通过对测试结果与FLUKE测试仪的比较,得出测量精度达到1.5%,满足了现场测量精度为3%的要求.
黄钉劲
阮照军
雷琳娜
关键词:
PDA
无线传输
磁约束磁控溅射源的特性测试
目前,磁控溅射技术已经广泛应用在表面改性、装饰薄膜、光学薄膜、超导薄膜以及功能薄膜等的制备中。其中,非平衡磁控溅射的离子(原子)能量比热蒸发高10~100倍,改善膜层性能的同时也使膜层特性趋于大块材料。由于传统的平面磁控...
雷琳娜
关键词:
磁约束
等离子体诊断
有限元模拟
膜层性能
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